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161

Field effect transistor based CMOS stress sensors /

Dölle, Michael. January 2006 (has links)
Zugl.: Freiburg (Breisgau), University, Diss., 2006.
162

Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen /

Feyh, Ando Lars. January 2006 (has links)
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006.
163

GaInAsP-basierende Resonatorstrukturen physikalische Grundlagen, epitaktische Herstellung und Charakterisierung /

Hasse, Andreas. Unknown Date (has links)
Universiẗat, Diss., 2006--Kassel.
164

Quasistatisch auslenkbarer Kippspiegel zur Ablenkung von Licht

Kiessling, Torsten January 2007 (has links)
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2007
165

Polarisationseffekte in Gruppe-(III)-Nitriden und deren Anwendung in p-Kanal FETs und elektromechanischen Strukturen

Zimmermann, Tom, January 2008 (has links)
Ulm, Univ., Diss., 2008.
166

Evaluation of viscoelastic materials for MEMS by creep compliance analysis

Schöberle, Bernd Michael January 2008 (has links)
Zugl.: Zürich, Techn. Hochsch., Diss., 2008
167

Ordnungsreduktion in der Mikrosystemtechnik /

Gugel, Denis. January 2009 (has links)
Zugl.: Chemnitz, Techn. Universiẗat, Diss., 2009.
168

Resonante mikromechanische Energiewandler

Kühne, Ingo January 2009 (has links)
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2009
169

Design and evaluation of wireless sensor nodes implementing wake-up strategies

Wendt, Thomas Michael January 2009 (has links)
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2009
170

Synthesis of compliant single crystal silicon mechanisms with large deformation

Chen, Tzung-Ming January 2009 (has links)
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2009

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