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Field effect transistor based CMOS stress sensors /Dölle, Michael. January 2006 (has links)
Zugl.: Freiburg (Breisgau), University, Diss., 2006.
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Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen /Feyh, Ando Lars. January 2006 (has links)
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006.
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GaInAsP-basierende Resonatorstrukturen physikalische Grundlagen, epitaktische Herstellung und Charakterisierung /Hasse, Andreas. Unknown Date (has links)
Universiẗat, Diss., 2006--Kassel.
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Quasistatisch auslenkbarer Kippspiegel zur Ablenkung von LichtKiessling, Torsten January 2007 (has links)
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2007
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Polarisationseffekte in Gruppe-(III)-Nitriden und deren Anwendung in p-Kanal FETs und elektromechanischen StrukturenZimmermann, Tom, January 2008 (has links)
Ulm, Univ., Diss., 2008.
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Evaluation of viscoelastic materials for MEMS by creep compliance analysisSchöberle, Bernd Michael January 2008 (has links)
Zugl.: Zürich, Techn. Hochsch., Diss., 2008
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Ordnungsreduktion in der Mikrosystemtechnik /Gugel, Denis. January 2009 (has links)
Zugl.: Chemnitz, Techn. Universiẗat, Diss., 2009.
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Resonante mikromechanische EnergiewandlerKühne, Ingo January 2009 (has links)
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2009
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Design and evaluation of wireless sensor nodes implementing wake-up strategiesWendt, Thomas Michael January 2009 (has links)
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2009
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Synthesis of compliant single crystal silicon mechanisms with large deformationChen, Tzung-Ming January 2009 (has links)
Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2009
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