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Étude fondamentale des mécanismes de gravure par plasma de matériaux de pointe : application à la fabrication de dispositifs photoniques

Stafford, Luc January 2005 (has links)
Thèse numérisée par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.
Gravure par plasma
Pulvérisation
Dynamique d'adsorption et de désorption
Plasma de haute densité
Diagnostics des plasmas
Matériaux de pointe
Applications photoniques

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