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[en] CHEMICAL, STRUCTURAL, TRIBOLOGICAL, AND OPTICAL PROPERTIES OF HEXAGONAL BORON NITRIDE FILMS SYNTHESIZED BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION / [pt] PROPRIEDADES QUÍMICAS, ESTRUTURAIS, TRIBOLÓGICAS E ÓPTICAS DE FILMES DE NITRETO DE BORO HEXAGONAL SINTETIZADOS POR DEPOSIÇÃO QUÍMICA NA FASE VTHAIS CRISTINA VIANA DE CARVALHO 22 August 2024 (has links)
[pt] O Nitreto de Boro Hexagonal (h-BN) é um material composto por átomosalternados de Boro (B) e Nitrogênio (N) com um aspecto hexagonal. Os filmesfinos de h-BN desempenham um papel crucial no desenvolvimento de aplicações como em dispositivos 2D baseados em heteroestruturas de Van der Waals,revestimentos protetivos, tribológicos, entre outros. A síntese de h-BN aindarepresenta um desafio significativo. Nesta tese, investigou-se a síntese do h-BNutilizando o método de low pressure chemical vapour deposition (LPCVD),empregando amônia borane (AB) como fonte precursora de B e N. O estudofocou-se no crescimento direto sobre o substrato de silício <100>, eliminando,assim, a necessidade de transferência do filme para posterior caracterizaçãoe evitando a degradação e contaminações associadas ao processo de transferência. A primeira parte deste estudo concentrou-se no crescimento por CVD,controlando os parâmetros de quantidade de material precursor, temperaturade evaporação do precursor e do forno, fluxo de gases nas etapas de reduçãoe de síntese, temperatura, tempo de redução, síntese e resfriamento. Foramsintetizadas duas séries: uma em função da temperatura de crescimento entre1173 e 1373 K, e uma segunda em função do tempo de síntese a uma temperatura de 1373 K. Os filmes foram caracterizados por espectroscopias Raman,infravermelho por transformada de Fourier (FTIR), UV-visível (UV-Vis), de fotoelétrons excitados por raios X (XPS), microscopia de força atômica (AFM),ângulo de contato, microscopia eletrônica de varredura (SEM), microscopiaeletrônica de varredura por transmissão (STEM) e tribologia. Inicialmente,foi estudado o efeito da temperatura de crescimento na qualidade dos filmescrescidos por 10 minutos. Os resultados de espectroscopia Raman confirmamo crescimento de h-BN, evidenciado pelo pico E2g em aproximadamente 1375cm−1. Estudos morfológicos mostraram que variações de temperatura levam àformação de diferentes estruturas na superfície do Si. O crescimento é observado a partir de 1273 K, enquanto amostras crescidas abaixo de 1223 K nãoapresentam sinais de crescimento. Observamos a formação de folhas bidimensionais (2D) com dimensões laterais variando de 80 a 500 nm, assim como ocrescimento contínuo de filmes com nanocristais de tamanhos variados. A razão B:N determinada por XPS foi de aproximadamente 1:1 e o gap óptico dosfilmes de h-BN foi determinado em 5,75 eV. O estudo de tribologia demonstrouum coeficiente de atrito de 0,1 e não houve delaminação após 3000 ciclos deida e volta lineares no teste esfera no disco percorrendo 10 mm em cada ciclono filme, enquanto o do Si foi de 0,6. Para os filmes sintetizados em função dotempo, a caracterização por espectroscopia Raman revelou um pico de modode vibração E2g em 1374 cm−1com intensidade correlacionada à espessura dofilme. A espectroscopia FTIR confirmou a presença de ligações B-N, e a bandaóptica foi determinada em 5,65 eV. O ângulo de contato mostrou filmes hidrofóbicos. Os dados de XPS indicaram uma relação estequiométrica 1:1 entre Be N, e a espessura foi analisada pela medida de seção transversal por STEM,sendo da ordem de 20 nm para filmes crescidos por 10 minutos a 1373 K. / [en] Hexagonal Boron Nitride (h-BN) is a material composed of alternating
Boron (B) and Nitrogen (N) atoms with a hexagonal aspect. Thin films of
h-BN play a crucial role in the development of applications such as 2D devices
based on Van der Waals heterostructures, protective coatings, tribological applications, among others. The synthesis of h-BN still represents a significant
challenge. In this thesis, the synthesis of h-BN was investigated using the low-pressure chemical vapor deposition (LPCVD) method, employing ammonia
borane (AB) as a precursor source of B and N. The study focused on direct growth on the silicon <100> substrate, thus eliminating the need for film
transfer for subsequent characterization and avoiding degradation and contamination associated with the transfer process. The first part of this study focused
on CVD growth, controlling parameters such as the amount of precursor material, precursor and furnace evaporation temperature, gas flow rates during the
reduction and synthesis stages, temperature, reduction time, synthesis, and
cooling. Two series were synthesized: one as a function of growth temperature
between 1173 and 1373 K, and a second as a function of synthesis time at a
temperature of 1373 K. The films were characterized by spectroscopy, Raman,
Fourier-transform infrared (FTIR), UV-visible (UV-Vis), X-ray photoelectron
(XPS), atomic force microscopy (AFM), contact angle measurements, scanning electron microscopy (SEM), scanning transmission electron microscopy
(STEM), and tribology. Initially, the effect of growth temperature on the quality of films grown for 10 minutes was studied. Raman spectroscopy results
confirmed the growth of h-BN, evidenced by the E2g peak at approximately
1375 cm−1
. Morphological studies showed that temperature variations lead to
the formation of different structures on the Si surface. Growth is observed
from 1273 K, while samples grown below 1223 K show no signs of growth.
We observed the formation of two-dimensional (2D) nanosheets with lateral
dimensions ranging from 80 to 500 nm, as well as the continuous growth of
films with nanocrystals of varying sizes. The B:N ratio determined by XPS was
approximately 1:1, and the optical gap of the h-BN films was determined to be
5.75 eV. Tribology studies demonstrated a friction coefficient of 0.1, and there
was no delamination after 3000 linear reciprocating cycles in the ball-on-disk
test, covering 10 mm in each cycle on the film, while for Si it was 0.6. For
films synthesized as a function of time, Raman spectroscopy characterization
revealed an E2g vibration mode peak at 1374 cm−1 with intensity correlated to
the film thickness. FTIR spectroscopy confirmed the presence of B-N bonds,
and the optical band was determined to be 5.65 eV. Contact angle measurements showed hydrophobic films. XPS data indicated a stoichiometric 1:1 ratio
between B and N, and the thickness was analyzed by cross-sectional STEM
measurements, being around 20 nm for films grown for 10 minutes at 1373 K.
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Estudo de Estrutura Eletrônica de Nanofitas de Nitreto de Boro utilizando Cálculos de Primeiros Princípios / Study of Electronic Structure of nanobelts Boron Nitride using calculations First PrinciplesFrazão, Nilton Ferreira 30 March 2009 (has links)
Made available in DSpace on 2016-08-18T18:19:26Z (GMT). No. of bitstreams: 1
Nilton Ferreira Frazao.pdf: 1298809 bytes, checksum: 5aca0b703a735a7fb605b7bdee658bdd (MD5)
Previous issue date: 2009-03-30 / Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior / Recently, the existence of nanoribbon of Boron Nitride with finite size was discovered
experimentally, in porous nanoesferas of BN (100-400 nm of diameter), synthesized for the
reaction of B2O3 with carbon spheres contend nanoporos filled for Nitrogen to a temperature
of 17500C. However a theoretical inquiry of the properties of this nanometerial did not exist.
Then, in this present work, we carry through simulation of molecular mechanics
using field of universal force (forcefild) to optimize the structure of some of these nanoribbon
of Boron Nitride, with objective to find a conformation more steady, that is, of lesser energy
for these nanostructures. Later, we investigate the electronic properties of these nanoribbon
of Boron Nitride (NRBN) in the finite form (not-periodic) of two types: nanoribbon of Boron
Nitride of the type to armchair (a-NRBN) and nanoribbon of Boron Nitride of the type zigzag
(z-NRBN). The study of these properties they had been carried through of calculations of
first principles based in the Density Functional Theory, with the local density approximation
(LDA).
Through our calculations, we observe that all the nanoribbon are metallic when we
made the analysis of the density of states (DOS). Result not waited, but surprising, therefore
of literature we know that material nanostructuralized of Boron Nitride they are always
semiconductors. However, our calculations had shown that as much a-NRBN as z-NRBN
had presented a conducting electronic character. The simulations had been carried through
for many cases of nanoribbon of width (L) and length (C), forming a pair of indices (L, C), with
the objective to facilitate the identification of these nanostructures. However we will present
the results of but twelve of these, being: (1,3), (1,6), (1,9), (2,3), (2,6) e (2,9) in such a way of
the types a-NRBN and z-NRBN. / Recentemente, foi descoberto experimentalmente a existência de Nanofitas de Nitreto
de Boro (BN) de tamanho finito, em nanoesferas porosas de BN (100-400 nm de diâmetro),
sintetizada pela reação de B2O3 com esferas de carbono contendo nanoporos preenchidos por
Nitrogênio a uma temperatura de 17500C. No entanto não existia uma investigação teórica
das propriedades desses nanocompósitos.
Então, neste presente trabalho, realizamos simulações de mecânica molecular usando
campo de força universal (forcefild) para otimizar a estrutura de algumas destas nanofitas de
Nitreto de Boro, com objetivo de encontrar uma conformação mais estável, ou seja, de menor
energia para essas nanoestruturas. Depois, investigamos as propriedades eletrônicas dessas
nanofitas de Nitreto de Boro (NRBN) na forma finita (não-periódica) de dois tipos: nanofitas
de Nitreto de Boro do tipo armchair (a-NRBN) e nanofitas de Nitreto de Boro do tipo zigzag
(z-NRBN). O estudo destas propriedades foram realizados através de cálculos de primeiros
princípios baseados na Teoria do Funcional da Densidade, com a aproximação da densidade
local (LDA).
Através de nossos cálculos, observamos que todas as nanofitas são metálicas quando
fizemos a análise da densidade de estados eletrônicos (DOS). Resultado não esperado, mas
surpreendente, pois da literatura sabemos que materiais nanoestruturados de Nitreto de
Boro são sempre semicondutores. No entanto, nossos cálculos mostraram que tanto as a-
NRBN como as z-NRBN apresentaram um caráter eletrônico condutor. As simulações foram
realizadas para muitos casos de nanofitas de largura (L) e comprimento (C), formando um
par de índices (L, C), com o objetivo de facilitar a identificação dessas nanoestruturas. No
entanto apresentaremos os resultados de apenas doze dessas, sendo: (1,3), (1,6), (1,9), (2,3),
(2,6) e (2,9) tanto dos tipos a-NRBN e z-NRBN.
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