In dieser Arbeit werden Ergebnisse zur reaktiven epitaktischen Schichtabscheidung von CoSi$_2$ auf Si(001)-basierten epitaktischen Heterostrukturen präsentiert. Während der Abscheidung wurde Reflexionsbeugung hochenergetischer Elektronen (RHEED) zur in situ Charakterisierung der Oberfläche eingesetzt. Mit Hilfe eines Computerprogrammes zur kinematischen Simulation von RHEED-Beugungsdiagrammen konnten die aufgenommenen Beugungsbilder von A- und B-Typ-CoSi$_2$ interpretiert werden. Aus weiteren Analysen (XRD, RBS, XRR, TEM, TED) ergab sich, daß sich bei tiefen Substrattemperaturen CoSi$_2$-Schichten bilden, die A- und B-Typ-CoSi$_2$ enthalten. Schichten, die bei hohen Temperaturen gefertigt wurden, weisen nur A-Typ CoSi$_2$ auf.

Die Beschreibung von Oberflächeneigenschaften erfolgt durch Parameter, die die Funktion von Bauteilen oder Prozesseigenschaften für die Herstellung abbilden. Dabei können die gesamte geometrische Gestalt und/oder Teile der Oberfläche von Bedeutung sein. Die Dissertation stellt eine neue ganzheitliche Methode für die Bewertung von Oberflächen bis in den Nanometerbereich vor. Ausgehend von der Betrachtung der Oberfläche als geometrische Struktur ergeben sich Konsequenzen für die vollständige Erfassung mit Tastschnittgeräten. Neue Messbedingungen, die Reduzierung von Störeinflüssen und Veränderungen an den Messgeräten sind für die Erfassung bis in den Nanometerbereich notwendig. Eine ganzheitliche Bewertung von geometrischen Strukturen erfordert ein System mit dem alle Bestandteile auf die gleiche Art und Weise unabhängig von der Dimension betrachtet werden können. Hierfür bietet ein neues Einhüllendes System eine Strategie, mit der durch Trennung der Oberflächenbestandteile mit morphologischen Filtern einhüllende Oberflächen entstehen.

Im Beitrag werden bei verschiedenen Lastkollektiven und zwei Reibgeschwindigkeiten die Erodierstrukturen K27, K36, K42 und die Ätzstruktur K36 mit glatten Probekörpern hinsichtlich des Reibwertes und des Verschleißverhaltens untersucht. Als strukturierte Probekörper kommen die Kunststoffe POM und PA und als Gegenkörper zwei verschiedene PE-UHMW´s zum Einsatz. Die Ergebnisse zeigen eine deutliche Abhängigkeit des Reibwertes von der Oberflächenstruktur der Probekörper, jedoch ist die Senkung des Reibwertes stark von den Belastungsparametern Normalkraft und Reibgeschwindigkeit abhängig.

In dieser Arbeit werden Ergebnisse zur reaktiven epitaktischen Schichtabscheidung von CoSi$_2$ auf Si(001)-basierten epitaktischen Heterostrukturen präsentiert. Während der Abscheidung wurde Reflexionsbeugung hochenergetischer Elektronen (RHEED) zur in situ Charakterisierung der Oberfläche eingesetzt. Mit Hilfe eines Computerprogrammes zur kinematischen Simulation von RHEED-Beugungsdiagrammen konnten die aufgenommenen Beugungsbilder von A- und B-Typ-CoSi$_2$ interpretiert werden. Aus weiteren Analysen (XRD, RBS, XRR, TEM, TED) ergab sich, daß sich bei tiefen Substrattemperaturen CoSi$_2$-Schichten bilden, die A- und B-Typ-CoSi$_2$ enthalten. Schichten, die bei hohen Temperaturen gefertigt wurden, weisen nur A-Typ CoSi$_2$ auf.

Die Beschreibung von Oberflächeneigenschaften erfolgt durch Parameter, die die Funktion von Bauteilen oder Prozesseigenschaften für die Herstellung abbilden. Dabei können die gesamte geometrische Gestalt und/oder Teile der Oberfläche von Bedeutung sein. Die Dissertation stellt eine neue ganzheitliche Methode für die Bewertung von Oberflächen bis in den Nanometerbereich vor. Ausgehend von der Betrachtung der Oberfläche als geometrische Struktur ergeben sich Konsequenzen für die vollständige Erfassung mit Tastschnittgeräten. Neue Messbedingungen, die Reduzierung von Störeinflüssen und Veränderungen an den Messgeräten sind für die Erfassung bis in den Nanometerbereich notwendig. Eine ganzheitliche Bewertung von geometrischen Strukturen erfordert ein System mit dem alle Bestandteile auf die gleiche Art und Weise unabhängig von der Dimension betrachtet werden können. Hierfür bietet ein neues Einhüllendes System eine Strategie, mit der durch Trennung der Oberflächenbestandteile mit morphologischen Filtern einhüllende Oberflächen entstehen.

Nach einer kurzen Einführung in das strombegrenzende Schalten folgen Betrachtungen über den Aufbau von thermoplastischen Polymeren, den Prozess der Sphärolithbildung sowie die Struktur der Ruße. Auf Grund der Füllstoffteilchenverdrängung im Verlauf der Sphärolithbildung sowie der Neigung der Füllstoffteilchen zur Agglomeration werden Überlegungen zur elektrischen Leitfähigkeit der Compounds angestellt. Gestützt auf den stark nichtlinearen Ausdehnungs-koeffizienten der Thermoplaste und der Selbstagglomerationsneigung der Füllstoffteilchen erfolgt die Erklärung des Widerstandsverhaltens der Compoundmaterialien. Die Optimierung des Compoundmaterials für Strombegrenzung erfolgt durch Untersuchung einer Auswahl von Parametern, die das Matrixmaterial, den Ruß sowie das Herstellungsverfahren betreffen. Das Gesamtverhalten eines polymeren Strombegrenzers lässt sich nicht allein mit dem Widerstandsverhalten des Compounds erklären. Deshalb werden die Gegebenheiten im Bereich des Metall-Compound-Kontakts untersucht. Mit der so gewonnenen Modellvorstellung und dem Verständnis der Funktionsweise des Compounds ist es dann möglich das Gesamtverhalten zu beschreiben. Dabei ist zwischen oberflächennahem-PTC-Effekt und Volumen-PTC-Effekt sowie dem Oberflächeneffekt zu unterscheiden. Durch einen Alternativansatz können bisherige Diskrepanzen bezüglich der Erklärung der Phänomene beim Oberflächeneffekt ausgeräumt werden. Es erfolgt eine Gegenüberstellung von PTC- und Oberflächeneffekt hinsichtlich ihres Anteils am Gesamtverhalten. Abschließend werden Aspekte zur Dimensionierung eines polymeren Strombegrenzers behandelt.

Nach einer kurzen Einführung in das strombegrenzende Schalten folgen Betrachtungen über den Aufbau von thermoplastischen Polymeren, den Prozess der Sphärolithbildung sowie die Struktur der Ruße. Auf Grund der Füllstoffteilchenverdrängung im Verlauf der Sphärolithbildung sowie der Neigung der Füllstoffteilchen zur Agglomeration werden Überlegungen zur elektrischen Leitfähigkeit der Compounds angestellt. Gestützt auf den stark nichtlinearen Ausdehnungs-koeffizienten der Thermoplaste und der Selbstagglomerationsneigung der Füllstoffteilchen erfolgt die Erklärung des Widerstandsverhaltens der Compoundmaterialien. Die Optimierung des Compoundmaterials für Strombegrenzung erfolgt durch Untersuchung einer Auswahl von Parametern, die das Matrixmaterial, den Ruß sowie das Herstellungsverfahren betreffen. Das Gesamtverhalten eines polymeren Strombegrenzers lässt sich nicht allein mit dem Widerstandsverhalten des Compounds erklären. Deshalb werden die Gegebenheiten im Bereich des Metall-Compound-Kontakts untersucht. Mit der so gewonnenen Modellvorstellung und dem Verständnis der Funktionsweise des Compounds ist es dann möglich das Gesamtverhalten zu beschreiben. Dabei ist zwischen oberflächennahem-PTC-Effekt und Volumen-PTC-Effekt sowie dem Oberflächeneffekt zu unterscheiden. Durch einen Alternativansatz können bisherige Diskrepanzen bezüglich der Erklärung der Phänomene beim Oberflächeneffekt ausgeräumt werden. Es erfolgt eine Gegenüberstellung von PTC- und Oberflächeneffekt hinsichtlich ihres Anteils am Gesamtverhalten. Abschließend werden Aspekte zur Dimensionierung eines polymeren Strombegrenzers behandelt.

Im Beitrag werden bei verschiedenen Lastkollektiven und zwei Reibgeschwindigkeiten die Erodierstrukturen K27, K36, K42 und die Ätzstruktur K36 mit glatten Probekörpern hinsichtlich des Reibwertes und des Verschleißverhaltens untersucht. Als strukturierte Probekörper kommen die Kunststoffe POM und PA und als Gegenkörper zwei verschiedene PE-UHMW´s zum Einsatz. Die Ergebnisse zeigen eine deutliche Abhängigkeit des Reibwertes von der Oberflächenstruktur der Probekörper, jedoch ist die Senkung des Reibwertes stark von den Belastungsparametern Normalkraft und Reibgeschwindigkeit abhängig.

Surface quality plays a vital role in controlling the function performance of the workpiece. With the development of the measuring technique, areal surface measurement has been widely applied in the industry. However, estimating the uncertainty of areal surface measurement is still a challenge. Except for the metrological characteristics of the measurement system, measurement conditions should be considered for uncertainty evaluation. The dissertation investigates the influence of measurement settings on surface measurement. A silver-plated surface, three different rough grinding surfaces, and three different rough cylindrical grinding surfaces were measured using structured illumination microscopy. The measurements were at the different objective lenses, vertical scanning interval, exposure time, and sample tilt. The results show that the measurement settings influence the non-measured points, measurement noise, and areal surface texture parameters. Therefore, according to the investigation, the sample tilt and exposure time should also be included in the uncertainty budget. An approach was proposed to investigate the influence of non-measured points on the areal surface texture parameters. The relation between the non-measured points ratio and measurement settings was investigated, and how the areal surface texture parameters changed due to the non-measured points was studied. Moreover, an approach based on the metrological characteristic method was proposed to estimate the uncertainty due to the measurement noise. This method can be extended to the uncertainty evaluation due to other metrological characteristics. Additionally, an approach based on the Monte Carlo Method was proposed to estimate the measurement uncertainty due to different influences. This approach was verified as feasible in the practical measurement.

Beton wird global als Werkstoff eingesetzt, weist als Natur-verwendendetes Material allerdings unterschiedliche regionale Spezifikationen auf. Hier entsteht ein Spannungsfeld zwischen Universalismus und Partikularismus. Die beim Absäuern offengelegten Sandkörner werden zum ortsbezogenen Naturpigment, die diese Ambivalenz sinnlich erfahrbar machen. Die Werkgruppe präsentiert in ihrer Uniformität ein Bild der Gemeinsam- und Verbundenheit. Gleichzeitig erheben die einzelnen Platten Anspruch auf spezifische, in ihrer Körnung auf partikularer Ebene abgebildete Eigenschaften der Diversität und Einzigartigkeit.