Scanning-electron-beam lithography (SEBL) is the primary technology to generate arbitrary features at the nano-scale. However, pattern placement accuracy still remains poor compared to its resolution due to the open-loop nature of SEBL systems. Vibration, stray electromagnetic fields, deflection distortion and hysteresis, substrate charging, and other factors prevent the electron-beam from reaching its target position and one has no way to determine the actual beam position during patterning with conventional systems. To improve the pattern placement accuracy, spatial-phase-locked electron-beam lithography (SPLEBL) provides feedback control of electron-beam position by monitoring the secondary electron signal from electron-transparent fiducial grids on the substrate. While scanning the electron beam over the fiducial grids, the phase of the grid signal is analyzed to estimate the electron-beam position error; then the estimates are sent back to beam deflection system to correct the position error. In this way, closed-loop control is provided to ensure pattern placement accuracy. The implementation of spatial-phase-locking on high speed field-programmable gate array (FPGA) provides a low-cost method to create a nano-manufacturing platform with 1 nm precision and significantly improved throughput. Shot-to-shot, or pixel-to-pixel, dose variation during EBL is a significant practical and fundamental problem. Dose variations associated with charging, electron source instability, optical system drift, and ultimately shot noise in the beam itself conspire to increase critical dimension variability and line width roughness and to limit the throughput. It would be an important improvement to e-beam patterning technology if real-time feedback control of electron-dose were provided to improve pattern quality and throughput even beyond the shot noise limit. A novel approach is proposed in this document to achieve the real-time dose control based on the measurement of electron arrival at the sample to be patterned, rather than from the source or another point in the electron-optical system. A dose control algorithm, implementation on FPGA, and initial experiment results for the real-time feedback dose control on the e-beam patterning tool is also presented.

O aprendizado é o resultado desejado do processo educacional. Quando um aluno é exposto a determinadas experiências de ensino e oportunidades de aprendizagem de vários conhecimentos durante um período e, ao final de todo o processo, não aprender sequer os conhecimentos mínimos ou conceitos fundamentais daquele curso é um exemplo de não aprendizado. O não aprendizado dos alunos do curso de graduação em Ciências Contábeis pode ser de-duzido pelo baixo índice de aprovação em todas as edições do Exame de Suficiência, reali-zado pelo Conselho Federal de Contabilidade - CFC. A proposta de pesquisa é aprofundar o entendimento dos erros cometidos pelos egressos que acarretam na reprovação em massa no Exame de Suficiência, com o intuito de classifi-cá-los e verificar se são padrões de erros conceituais em Contabilidade, buscando evidên-cias de que eles ocorrem com frequência, intensidade, recorrência e persistência. A base de dados dos Exames de Suficiência não pôde ser compartilhada pelo CFC, então adaptamos a pesquisa aos relatórios disponíveis do ENADE, exame nacional aplicado em larga escala também para os concluintes do curso de graduação em Ciências Contábeis. Foi feita uma análise minuciosa das questões dos ENADES de 2006 e 2009 que tiveram uma concentração de escolha pelos avaliados em uma das alternativas erradas, podendo superar a concentração da alternativa correta. Separamos as questões que tiveram este tipo de padrão de erro, combinamos com a per-cepção dos professores entrevistados e com a validação de professores consultores e sele-cionamos quinze questões que possuem padrões de erros conceituais em ao menos uma de suas alternativas. Estas questões foram respondidas por alunos ingressantes e concluintes de três Instituições de Ensino, para verificarmos a confirmação ou não dos padrões de erros conceituais. É um padrão de erro conceitual, se há maior concentração de escolha na alternativa con-tendo este tipo de erro, que competirá com a alternativa correta, revelando sua intensidade. A escolha será similar entre ingressantes e concluintes, indicando sua persistência, mesmo após o aluno ter sido exposto ao conteúdo durante o curso de graduação. Entre os demais tipos de erros, os padrões de erros conceituais são mais frequentes e per-meiam disciplinas diversas, por serem conceitos fundamentais para o entendimento da Contabilidade. O resultado é um forte indício da existência de um padrão de erro conceitual, que é a con-fusão entre os conceitos de regime de caixa e de competência. Esses conceitos são basila-res, não sendo admissível que o egresso do curso de graduação em Ciências Contábeis co-meta tais erros. O cálculo e raciocínio matemático permeiam os padrões de erros conceituais e a resolução de boa parte dos exercícios de todas as avaliações citadas nesse trabalho. São um padrão de erro, geralmente relacionados às quatro operações básicas de matemática: soma, subtração, divisão e multiplicação; o que também não é admissível para alunos que foram selecionados para ingressar em um curso superior e que saem ainda com estas deficiências. / The learning is the desired outcome of the educational process. When a student is exposed to certain learning experiences and opportunities for learning, and several skills during a period and at the end of the whole process, not learning even the minimum knowledge and fundamental concepts that course is an example of not learning. The non-student learning in the undergraduate program in accounting can be deduced by low approval ratings in all editions of Exame de Suficiência, realized by the Federal Ac-counting Council - CFC. The research proposal is to deepen the understanding of the errors committed by graduates who lead in the reprobation mass in the Exame de Suficiência, in order to classify them-here and check patterns are conceptual errors in Accounting, seeking evidences that they occur with frequency, intensity, persistence and recurrence. The database of the Exame de Suficiência could not be shared by the CFC, and we has to adapt the research reports available in the ENADE exam, a national test applied on a large scale also for graduating undergraduate in Accounting. We conducted a thorough analysis of the issues of ENADES 2006 and 2009 that had a concentration of choice for one of the alternatives evaluated in the wrong, and can over-come the concentration of the correct alternative. Separate the questions that had this type of pattern error, combined with the perception of the teachers interviewed and validated with teacher consultants, we selected fifteen questi-ons that have patterns of conceptual errors in at least one of its alternatives. These questions were answered by students in three educational institutions to verify the confirmation or not of patterns of conceptual errors. It\'s a misconception, if there is a higher concentration of an alternative choice in having this type of error, which will compete with the correct alternative, revealing its intensity. The choice will be similar between freshmen and indicating its persistence even after the student has been exposed to the content during the undergraduate degree. Among the other types of errors, misconceptions are more frequent and are related with diverse disciplines, because they are fundamental concepts for the understanding of Ac-counting. The result is a strong indication of the existence of a pattern of conceptual error, which is the confusion between the concepts of system of cash and accrual. These concepts are es-sential is not acceptable that the graduates of undergraduate degree in Accounting commit such errors. The calculation and mathematical reasoning pervade patterns of conceptual errors and resolution of most of the exercises all reviews quoted in this work. Are one standard error, usually related to the four basic math operations: addition, subtraction, multiplication and division, which is also not permissible for students who were selected to join a college and leaving even with these shortcomings.

O aprendizado é o resultado desejado do processo educacional. Quando um aluno é exposto a determinadas experiências de ensino e oportunidades de aprendizagem de vários conhecimentos durante um período e, ao final de todo o processo, não aprender sequer os conhecimentos mínimos ou conceitos fundamentais daquele curso é um exemplo de não aprendizado. O não aprendizado dos alunos do curso de graduação em Ciências Contábeis pode ser de-duzido pelo baixo índice de aprovação em todas as edições do Exame de Suficiência, reali-zado pelo Conselho Federal de Contabilidade - CFC. A proposta de pesquisa é aprofundar o entendimento dos erros cometidos pelos egressos que acarretam na reprovação em massa no Exame de Suficiência, com o intuito de classifi-cá-los e verificar se são padrões de erros conceituais em Contabilidade, buscando evidên-cias de que eles ocorrem com frequência, intensidade, recorrência e persistência. A base de dados dos Exames de Suficiência não pôde ser compartilhada pelo CFC, então adaptamos a pesquisa aos relatórios disponíveis do ENADE, exame nacional aplicado em larga escala também para os concluintes do curso de graduação em Ciências Contábeis. Foi feita uma análise minuciosa das questões dos ENADES de 2006 e 2009 que tiveram uma concentração de escolha pelos avaliados em uma das alternativas erradas, podendo superar a concentração da alternativa correta. Separamos as questões que tiveram este tipo de padrão de erro, combinamos com a per-cepção dos professores entrevistados e com a validação de professores consultores e sele-cionamos quinze questões que possuem padrões de erros conceituais em ao menos uma de suas alternativas. Estas questões foram respondidas por alunos ingressantes e concluintes de três Instituições de Ensino, para verificarmos a confirmação ou não dos padrões de erros conceituais. É um padrão de erro conceitual, se há maior concentração de escolha na alternativa con-tendo este tipo de erro, que competirá com a alternativa correta, revelando sua intensidade. A escolha será similar entre ingressantes e concluintes, indicando sua persistência, mesmo após o aluno ter sido exposto ao conteúdo durante o curso de graduação. Entre os demais tipos de erros, os padrões de erros conceituais são mais frequentes e per-meiam disciplinas diversas, por serem conceitos fundamentais para o entendimento da Contabilidade. O resultado é um forte indício da existência de um padrão de erro conceitual, que é a con-fusão entre os conceitos de regime de caixa e de competência. Esses conceitos são basila-res, não sendo admissível que o egresso do curso de graduação em Ciências Contábeis co-meta tais erros. O cálculo e raciocínio matemático permeiam os padrões de erros conceituais e a resolução de boa parte dos exercícios de todas as avaliações citadas nesse trabalho. São um padrão de erro, geralmente relacionados às quatro operações básicas de matemática: soma, subtração, divisão e multiplicação; o que também não é admissível para alunos que foram selecionados para ingressar em um curso superior e que saem ainda com estas deficiências. / The learning is the desired outcome of the educational process. When a student is exposed to certain learning experiences and opportunities for learning, and several skills during a period and at the end of the whole process, not learning even the minimum knowledge and fundamental concepts that course is an example of not learning. The non-student learning in the undergraduate program in accounting can be deduced by low approval ratings in all editions of Exame de Suficiência, realized by the Federal Ac-counting Council - CFC. The research proposal is to deepen the understanding of the errors committed by graduates who lead in the reprobation mass in the Exame de Suficiência, in order to classify them-here and check patterns are conceptual errors in Accounting, seeking evidences that they occur with frequency, intensity, persistence and recurrence. The database of the Exame de Suficiência could not be shared by the CFC, and we has to adapt the research reports available in the ENADE exam, a national test applied on a large scale also for graduating undergraduate in Accounting. We conducted a thorough analysis of the issues of ENADES 2006 and 2009 that had a concentration of choice for one of the alternatives evaluated in the wrong, and can over-come the concentration of the correct alternative. Separate the questions that had this type of pattern error, combined with the perception of the teachers interviewed and validated with teacher consultants, we selected fifteen questi-ons that have patterns of conceptual errors in at least one of its alternatives. These questions were answered by students in three educational institutions to verify the confirmation or not of patterns of conceptual errors. It\'s a misconception, if there is a higher concentration of an alternative choice in having this type of error, which will compete with the correct alternative, revealing its intensity. The choice will be similar between freshmen and indicating its persistence even after the student has been exposed to the content during the undergraduate degree. Among the other types of errors, misconceptions are more frequent and are related with diverse disciplines, because they are fundamental concepts for the understanding of Ac-counting. The result is a strong indication of the existence of a pattern of conceptual error, which is the confusion between the concepts of system of cash and accrual. These concepts are es-sential is not acceptable that the graduates of undergraduate degree in Accounting commit such errors. The calculation and mathematical reasoning pervade patterns of conceptual errors and resolution of most of the exercises all reviews quoted in this work. Are one standard error, usually related to the four basic math operations: addition, subtraction, multiplication and division, which is also not permissible for students who were selected to join a college and leaving even with these shortcomings.