Darbo tikslas yra ištirti atkaitintų prie aukštų temperatūrų vakuume La2O3 sluoksnių Rentgeno fotoelektronų spektrus. Darbe aprašyti Rentgeno fotoelektronų spektroskopijos (RFS) (XPS - X-ray photoelectron spectroscopy) metodo, naudojamo įvairių medžiagų paviršių cheminei sudėčiai nustatyti, pagrindai. Pirmame skyriuje aprašyti: La2O3 oksidiniai junginiai ir jų tyrimų metodika, plonų nanostruktūrizuotų medžiagų sluoksnių nusodinimo iš dujų fazės (plazmos) metodas- magnetroninis dulkinimas (magnetron sputtering), aparatūra ir zolis – gelis metodas. Antrajame skyriuje aprašytas Rentgeno fotoelektroninės spektroskopijos metodas, pagrindinė RFS aparatūra bei teorinė dalis. Trečiasis skyrius yra skirtas Rentgeno fotoelektroninių spektrų matavimų, naudojant spektrometrą XSAM 800 (Kratos Analytical, Didžioji Britanija) ypatumams ir bandinių gamybos metodikai aptarti. Pateiktas išsamus La2O3 sintezės zolių-gelių metodu technologijos aprašymas. Ketvirtajame skyriuje pateikiami eksperimentiniai rezultatai gauti, matuojant La2O3 Rentgeno fotoelektronų spektrus. Darbo pabaigoje yra pateikiamos išvados, kurios galėtų būti naudingos, tobulinant La2O3 bandinių gamybos technologiją. Gautas rezultatas: nustatyta, kad zolių – gelių technologija leidžia paprastais metodais, nenaudojant sudėtingos aparatūros, susintetinti La2O3. / The aim of presented work was to synthesis by using sol-gel technology and investigate the X-ray photoelectron spectra (XPS) of La2O3 thin films in the annealed high temperature vacuum. In the present work we described the essentials of the method of X-ray photoelectron spectroscopy, used to determine chemical composition of various materials. In the first part are described: La2O3 oxide compounds and the methods of the their production from the gas phase – magnetron sputtering and sol – gel method. The second part describes the X- ray photo-electronic spectroscopy method, basic XPS equipment and theoretical part. In the third part we discussed the peculiarities and methodology of spectrometer XSAM 800 (Kratos Analytical, Great Britain) samples production while measuring X-ray photoelectron spectra. The thorough description of the technology by synthesis of La2O3 sol-gel method was provided. The fourth part presents the experimental results obtained by measuring the La2O3 X-ray photoelectron spectra. In the end of the work conclusions are produced that could be useful in improving production technology of La2O3 samples. Obtained results: we identified that sol-gel technology allows to synthesize La2O3 by simple methods, without using sophisticated equipment.