Die Studienarbeit beschäftigt sich mit dem Entwurf eines PC-gestützten Prozesssteuermoduls für eine Atomlagenabscheideanlage. Der erste Teil der Arbeit beschäftigt sich mit der Übergangslösung, einem 4-stelligen Abwärtszähler an der alten Prozesssteuereinheit. Im zweiten Teil wird die Neuentwicklung dargestellt, von der Spezifikation über den Schaltungsentwurf bis zur Programmierung der Software. / This student research project is about a PC-based process controller designed for an atomic layer deposition equipment. The first part of the document describes the temporary solution, a 4-digit down counter connected to the old process controller. The second part presents the newly developed controller: the specification, circuit design and software programming.

Die Studienarbeit beschäftigt sich mit dem Entwurf eines PC-gestützten Prozesssteuermoduls für eine Atomlagenabscheideanlage. Der erste Teil der Arbeit beschäftigt sich mit der Übergangslösung, einem 4-stelligen Abwärtszähler an der alten Prozesssteuereinheit. Im zweiten Teil wird die Neuentwicklung dargestellt, von der Spezifikation über den Schaltungsentwurf bis zur Programmierung der Software. / This student research project is about a PC-based process controller designed for an atomic layer deposition equipment. The first part of the document describes the temporary solution, a 4-digit down counter connected to the old process controller. The second part presents the newly developed controller: the specification, circuit design and software programming.