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Oberflächenmodifikation von Si(001) mittels Se

Kutzer, Martin 09 December 2005 (has links) (PDF)
Im Rahmen dieser Diplomarbeit wurden Si(001)-Oberflächen mit Selen modifiziert und anschließend charakterisiert. Die Herstellung der Selenpassivierungsschichten wurde in einer MBE-Anlage durchgeführt. Die Charakterisierung erfolgte durch RHEED-, LEED- und RBS-Untersuchungen.
MBE
RBS
Si-Oberfläche
ddc:530
Passivierung
Selen
2

Oberflächenmodifikation von Si(001) mittels Se

Kutzer, Martin 21 October 2005 (has links)
Im Rahmen dieser Diplomarbeit wurden Si(001)-Oberflächen mit Selen modifiziert und anschließend charakterisiert. Die Herstellung der Selenpassivierungsschichten wurde in einer MBE-Anlage durchgeführt. Die Charakterisierung erfolgte durch RHEED-, LEED- und RBS-Untersuchungen.
info:eu-repo/classification/ddc/530
ddc:530
Passivierung
Selen
MBE
RBS
Si-Oberfläche

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