Les capacités MIM (Métal/Isolant/Métal), au coeur de cette étude, sont des composants intégrés entre les niveaux d'interconnections. Le développement de nouvelle architecture en trois dimensions impose de déposer les films ultraminces constituant la capacité MIM de manière très conforme. Ce qui conduit à utiliser un nouveau procédé de dépôt : la méthode ALD assistée par plasma ou PEALD. De plus l'augmentation des performances électriques des MIM passe par une maîtrise des propriétés des électrodes et des interfaces créées entre le diélectrique et les électrodes métalliques. Les matériaux développés dans cette étude sont Ti- N-C and W-N- C, déposés par PEALD à partir de précurseurs organométalliques TDMAT et BTBMW. Une étude sur les propriétés physico-chimiques et électriques des films est effectuée ainsi que l'intégration de ces films dans les capacités MIM.

Alloy 617 displays a ductility dip during straining at exactly 1000˚C, leading to brittle fracture. A sudden decrease in ductility appearing during Gleeble hot ductility tests of Ni-based superalloys is a well-known phenomenon, while its cause is unknown. Many mechanisms have been established as possible contributors to the issue, and in later years not one, but the simultaneous presence of several of these mechanisms were confirmed as the cause. The ductility dip leads to solid state cracking and a specific solid state cracking phenomenon known as ductility dip cracking is specifically common in Ni-based superalloys. Ductility dip cracking is identified by intergranular cracks and the occurrence of specific precipitates, among other things. This work investigates the possibility that the decreased ductility is due to ductility dip cracking. Furthermore, other possible explanations are investigated. Visual examination was conducted through LOM, SEM and chemical analysis using EDS technique. Combined with thermodynamic calculations, the existence of Cr-rich M23C6 carbides, Ti(N,C) and Mo-rich particles, most likely M3B2, were confirmed. Further, it is established that the ductility dip is related to the lack of dynamic recrystallization at 1000˚C. It is not confirmed that the ductility dip in alloy 617 is due to ductility dip cracking. / Nickelbaslegeringen 617 uppvisar en minskning i duktilitet under Gleeble-dragprovning vid exakt 1000˚C vilket leder till sprött brott. En plötslig sänkning av duktiliteten vid varmdragning av Ni-baserade superlegeringar är ett välkänt fenomen, dock är orsaken inte fastställd. Många mekanismer har bekräftats som bidrag till problemet och under de senaste åren har den simultana närvaron av fler av dessa mekanismer bekräftats som orsaken. Sänkningen i duktilitet leder till sprickbildning i fast fas och en specifik typ av sprickbildning känd som ”ductility dip cracking” är speciellt förekommande i Ni-bas legeringar. Denna identifieras bland annat genom intergranulära sprickor och närvaron av specifika utskiljningar. Detta arbete undersöker möjligheten att duktilitetssänkningen beror på  ”ductility dip cracking”. Dessutom undersöks fler tänkbara förklaringar. Visuell granskning genomfördes via LOM och SEM och analys av sammansättningar via EDS-analys. I kombination med termodynamiska simuleringar blev förekomsten av Cr-rika M23C6 karbider, Ti(N,C) och Mo-rika partiklar, troligtvis M3B2, bekräftad. Fortsatt är det bekräftat att duktilitetssänkningen är relaterat till avsaknaden av rekristallisation vid 1000˚C. Det är inte bekräftat i detta arbete att duktilitetssänkningen i legering 617 beror av ”ductility dip cracking”.