Orientador: Vitor Baranauskas / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação / Made available in DSpace on 2018-08-06T07:59:42Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Amorim_MauroVanderleide_M.pdf: 4658675 bytes, checksum: 1d0d3ce62cb40cd86d00a29631b96508 (MD5) Previous issue date: 2005 / Resumo: Foi desenvolvida uma câmara de vácuo para estudo das propriedades elétricas de emissão de elétrons por catodos frios de vários materiais de interesse tecnológico, por exemplo, diamante dopado, filmes de carbono diamantífero e silício. Na parte experimental realizamos um sistema de alto vácuo (bomba mecânica mais a bomba difusora), um sistema de posicionamento de 6 graus de liberdade e um sistema de medida da corrente de emissão de elétrons. A modelagem matemática da emissão foi baseada na teoria de Fowler ¿ Nordheim. Foram feitos os cálculos relativos às propriedades de vácuo do sistema utilizado e a seguir a caracterização de algumas amostras de estruturas nanométricas produzidas utilizando o processo de deposição química a partir da fase vapor do etanol (HFCVD) com altas concentrações de hélio e argônio / Abstract: A vacuum chamber was developed for study the physical properties of electron emission by cold cathodes of several materials of technological interest as for example, doped diamond, films of diamond-like carbon and silicon. In the experimental part we accomplished a system of high vacuum (mechanic and diffusion pumps), a positioning system of 6 degrees of freedom and a system to measure of the electron emission current. The mathematical modeling of the emission was based on the theory of Fowler - Nordheim. Relative calculation of the properties of vacuum in the used system was made to check the characterization of some samples of nanometric structures produced using the process of chemical deposition starting from the phase vapor of the ethanol (HFCVD) with high concentrations of helium and argon / Mestrado / Eletrônica, Microeletrônica e Optoeletrônica / Mestre em Engenharia Elétrica