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Détection directe d'événements chimiques et biologiques en milieu liquide sur nanostructures de silicium

Halté, Cécile 15 October 2009 (has links) (PDF)
Les laboratoires sur puces sont une des voies en cours d'exploration pour répondre à un besoin croissant d'analyses automatiques, miniaturisées, portables et rapides. Le mode de détection basé sur l'utilisation d'un EOSFET (Electrolyte-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor ou Transistor à Effet de Champ Electrolyte-Oxyde-Semiconducteur), permet une détection directe de l'interaction biologique par effet de champ et semble particulièrement prometteur, notamment lorsque la taille des dispositifs est réduite à une échelle nanométrique. Notre travail porte ainsi sur l'étude de dispositifs EOSFET dont le canal est une nanostructure unidimensionnelle. Nous mettons tout d'abord en oeuvre la conception et la fabrication des dispositifs. Leurs caractérisations, réalisées grâce à un banc de mesure dédié, mettent en évidence la sensibilité des EOSFET à différents paramètres tels que la lumière, la présence de charges électrostatiques environnantes, la salinité de la solution ou encore le débit imposé à la solution en contact avec le dispositif. Nous avons démontré la détection possible d'un changement de débit de 0.7 μL.min-1. Nous développons ensuite deux voies de fonctionnalisation des EOSFET, l'une permettant la détection d'une variation de pH de la solution, l'autre la présence de brins d'ADN cibles dans la solution. Le fonctionnement du dispositif dans différentes conditions permet de mettre en évidence plusieurs paramètres clés à maîtriser tels que la stabilité du dispositif et de son environnement pour réaliser une détection électrique sur EOSFET.

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