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1

New possibilities for building high-vacuum chambers using glued aluminum plates and application to sputtered nanocomposite coatings

Abu Shgair, Khaleel. January 2002 (has links) (PDF)
Kaiserslautern, University, Diss., 2002.
2

Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen

Schulze, Matthias. January 2001 (has links) (PDF)
Magdeburg, Universiẗat, Diss., 2001.
3

Simulation des reaktiven Magnetron-Sputterns /

Pflug, Andreas. January 2007 (has links)
Universiẗat, Diss., 2006--Giessen.
4

Untersuchungen zum Cross-Magnetron-Effekt bei der reaktiven Indium-Zinnoxid-Abscheidung

Kleinhempel, Ronny, January 2008 (has links)
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008.
5

Untersuchung der lokalen Anregung einer gepulsten Magnetronentladung mittels optischer Emissionsspektroskopie und Abel-Inversion

Liebig, Bernd. January 2009 (has links)
Chemnitz, Techn. Univ., Diplomarb., 2008.
6

Atomistic effects in reactive direct current sputter deposition

Kappertz, Oliver. Unknown Date (has links) (PDF)
Techn. Hochsch., Diss., 2003--Aachen.
7

PVD-Abscheidung niedrigschmelzender Lotsysteme mit Hilfe aktiver Substratkühlung zum Einsatz in der Mikrosystemtechnik /

Erdle, Anja. January 2006 (has links)
Techn. Hochsch., Diss., 2005--Aachen.
8

Herstellung, Charakterisierung und Bewertung leitfähiger Diffusionsbarrieren auf Basis von Tantal, Titan und Wolfram für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen

Baumann, Jens January 2003 (has links) (PDF)
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2003
9

Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik

Pritschow, Marcus, January 2007 (has links)
Stuttgart, Univ., Diss., 2007.
10

Entwicklung von EB-PVD-Wärmedämmschichten auf Lanthanzirkonatbasis und gesputterten Oxidationsschutzschichten für den Einsatz auf intermetallischen Ni-Basislegierungen

Bagcivan, Nazlim January 2008 (has links)
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2008

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