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Search results

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元素原料気相成長法によるサファイア基板上AlNの結晶成長およびカーボンを用いたAlN表面のp型伝導制御

岸元, 克浩 24 November 2020 (has links)
京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第22844号 / 工博第4784号 / 新制||工||1748(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 / (主査)教授 川上 養一, 教授 木本 恒暢, 教授 藤田 静雄 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
窒化アルミニウム
p型伝導
深紫外
結晶成長
500

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