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1	Projet ACIME : analyse des circuits intégrés par microscopie électronique (ACIME project: integrated circuit analysis by electronic microscopy) Laurent, Jacques 22 October 1984 (has links) (PDF) L'accroissement de la densité d'intégration des circuits intégrés exige des moyens de contrôle d'une extrème précision. La microscopie électronique à balayage en contraste de potentiel convient particulièrement. La thèse présente tous les aspects: organisation, observabilité, méthodes d'observation, modes de traitement et les applications à la mise au point de circuits prototypes, l'analyse des défaillances, le contrôle de qualité, la recherche des limites de fonctionnement, la restructuration. Discussion de la nécessité du développement de méthodologies d'utilisation Circuit intégré Circuit VLSI Microscopie électronique balayage Contraste Conception circuit Prototype Détection défaut Contrôle qualité Circuit ULSI Projet ACIME