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Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren

Scheibner, Dirk 10 March 2005 (has links) (PDF)
In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen Anregungssignal ein schmales Band heraus und unterdrückt die anderen Frequenzbereiche. Auf diese Weise werden ohne Fourier-Transformation direkt spektrale Informationen gewonnen. Weiterhin sind die Resonanzfrequenz und damit der Messbereich mittels elektrostatischer Kräfte in einem weiten Bereich abstimmbar.
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Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren

Scheibner, Dirk 04 February 2005 (has links)
In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen Anregungssignal ein schmales Band heraus und unterdrückt die anderen Frequenzbereiche. Auf diese Weise werden ohne Fourier-Transformation direkt spektrale Informationen gewonnen. Weiterhin sind die Resonanzfrequenz und damit der Messbereich mittels elektrostatischer Kräfte in einem weiten Bereich abstimmbar.

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