アトムプローブ法および走査型トンネル顕微鏡法を用いた局所構造分析に関する研究

Description

京都大学 / 新制・論文博士 / 博士(工学) / 乙第13444号 / 論工博第4195号 / 新制||工||1770(附属図書館) / (主査)教授 河合 潤, 教授 鈴木 基史, 准教授 黒川 修 / 学位規則第4条第2項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/265968
2. 10.14989/doctor.r13444
3. 14301

Tags

アトムプローブ

半導体デバイス

走査型トンネル顕微鏡

グラファイト層間化合物

弾道電子放射顕微鏡

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/265968
Date	24 September 2021
Creators	金野, 晃之
Contributors	Kinno, Teruyuki, キンノ, テルユキ
Publisher	Kyoto University, 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation