高分解能RBS/ERDAにおける深さ方向分析の高度化に関する研究

Description

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第17558号 / 工博第3717号 / 新制||工||1566(附属図書館) / 30324 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 木村 健二, 教授 井手 亜里, 教授 河合 潤 / 学位規則第4条第1項該当

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1. http://hdl.handle.net/2433/174924
2. 10.14989/doctor.k17558

Tags

高分解能 RBS

高分解能 ERDA

多重散乱

HfO2

ホウ素

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/174924
Date	25 March 2013
Creators	笹川, 薫
Contributors	木村, 健二, 井手, 亜里, 河合, 潤, Sasagawa, Kaoru, ササカワ, カオル
Publisher	京都大学 (Kyoto University), Kyoto University
Source Sets	Kyoto University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	DFAM, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf