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Winkelaufgeloeste Photoelektronenspektroskopie und Reflexionsanisotropiespektroskopie an kubischem Siliziumkarbid

In dieser Arbeit wurden winkelaufgeloeste Photoemissionsuntersuchungen
(ARUPS)und Messungen der Reflexionsanisotropie (RAS) durchgefuehrt. Fuer
die Experimente standen p-3C-SiC(001)/n-3C-SiC(001)/n-Si-Proben zur
Verfuegung.

Den Mittelpunkt bildeten sowohl die Praeparation verschiedener Oberflaechen-
rekonstruktionen als auch die oben genannten Untersuchungsmethoden. Fuer die
Praeparation wurden zwei unterschiedliche Heizverfahren verwendet - die
Elektronenstoßheizung und die direkte Heizung. Die Charakterisierung der
Oberflaechenrekonstruktion erfolgte mittels LEED.

Die Untersuchungen wurden an den Hauptrekonstruktionen der (001)-Oberflaeche
des kubischen Siliziumkarbids - der (3x2)-, der (2x1)- und der c(2x2)-
Rekonstruktion - durchgefuehrt, welche mit der direkten Heizmethode praepa-
riert worden waren. Aus den winkelaufgeloesten Photoemissionsspektren konnten
die jeweiligen Oberflaechenbandstrukturen ermittelt werden. Daraus ließen
sich Schlußfolgerungen ueber die Ausbildung von Oberflaechenzustaenden bzw.
Oberflaechenresonanzen treffen. Die RAS-Spektren zeigten für alle Rekonstruk-
tionen deutlich unterschiedliche Verlaeufe.

Identiferoai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:17381
Date11 February 1998
CreatorsLindner, Katrin
ContributorsTechnische Universität Chemnitz
Source SetsHochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
LanguageGerman
Detected LanguageGerman
Typedoc-type:masterThesis, info:eu-repo/semantics/masterThesis, doc-type:Text
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess

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