Conselho Nacional de Pesquisa e Desenvolvimento Científico e Tecnológico - CNPq / Zr-Hf-N and Zr-Hf thin films were deposited by reactive magnetron sputtering in order
to verify the influence of small hafnium contents that are present as contaminants on
zirconium deposition targets. For this purpose different hafnium contents in the films
were intentionally added by varying the deposition power. The samples were
characterized by X-ray diffraction (XRD), dispersive energy X-ray spectroscopy (EDS),
Rutherford backscattering spectroscopy (RBS) and nanohardness analyzes. The ZrHfN
thin films were deposited and had a concentration of at% Hf of 0.49; 0.56; 0.80; 1.87
and 2.70. The deposited Zr-Hf alloys exhibited hafnium contents at up to 1.21%; 1.24;
4.35; 7.94 and 11.49. The crystalline phase obtained for the nitride films had a cubic
face centered structure (FCC) and was not modified by the increase in hafnium content.
The alloys presented amorphous with some crystalline regions of hexagonal structure.
The hardness values ranged from 21.4 to 25.1 GPa for nitrides and from 6.1 to 8.4 GPa
for zirconium alloys. / Filmes finos de Zr-Hf-N e Zr-Hf foram depositados por magnetron sputtering reativo
com o intuito de verificar a influência de pequenos teores de háfnio que estão presentes
como contaminantes nos alvos de deposição de zircônio. Para isto foram adicionados
intencionalmente diferentes teores de háfnio nos filmes através da variação da potência
de deposição. As amostras foram caracterizadas por difração de raios-X (DRX),
espectroscopia de raios-Xpor energia dispersiva (EDS), espectroscopia por
retroespalhamento Rutherford (RBS) e análises de nanodureza. Os filmes finos de
ZrHfN foram depositados e apresentaram concentração em at.% de Hf de 0,49; 0,56;
0,80; 1,87 e 2,70. As ligas Zr-Hf depositadas apresentaram teores de háfnio em at.% de
1,21; 1,24; 4,35; 7,94 e 11,49. A fase cristalina obtida para os filmes os nitretos tinha
estrutura cúbica de face centrada (CFC) e não foi modificada pelo aumento do teor de
háfnio. As ligas se apresentaram amorfas com algumas regiões cristalinas de estrutura
hexagonal. Os valores de dureza variaram de 21,4 a 25,1 GPa para os nitretos e de 6,1 a
8,4 GPa para as ligas de zircônio. / São Cristóvão, SE
| Identifer | oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:ri.ufs.br:riufs/10595 |
| Date | 10 1900 |
| Creators | Santos, Ikaro Arthur Dantas |
| Contributors | Tentardini, Eduardo Kirinus |
| Publisher | Pós-Graduação em Ciência e Engenharia de Materiais, Universidade Federal de Sergipe |
| Source Sets | IBICT Brazilian ETDs |
| Language | Portuguese |
| Detected Language | English |
| Type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Source | reponame:Repositório Institucional da UFS, instname:Universidade Federal de Sergipe, instacron:UFS |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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