Mittels reaktivem Magnetron-Sputtern hergestellte Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten
wurden mit den Methoden der Röntgendiffraktometrie und Röntgenreflektometrie charakterisiert.
Es konnte gezeigt werden, dass die Wahl des Arbeitspunktes bei der Schichtabscheidung
erheblichen Einfluss auf Kristallitorientierung, Gitterkonstante und Größe der Schichtspannung hat.
Zusätzlich wurden mittels des Langford-Verfahrens Korngröße und Mikrospannungen bestimmt.
Im Rahmen der röntgenografischen Spannungsmessung zeigten sich nichtlineare Verläufe der
Dehnung über sin²Ψ, die mit dem Kornwechselwirkungsmodell nach Vook und Witt
erklärt werden.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:18444 |
| Date | 26 September 2005 |
| Creators | Kaune, Gunar |
| Contributors | Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:masterThesis, info:eu-repo/semantics/masterThesis, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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