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1	Röntgenografische Charakterisierung von Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten Kaune, Gunar 07 January 2006 (has links) (PDF) Mittels reaktivem Magnetron-Sputtern hergestellte Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten wurden mit den Methoden der Röntgendiffraktometrie und Röntgenreflektometrie charakterisiert. Es konnte gezeigt werden, dass die Wahl des Arbeitspunktes bei der Schichtabscheidung erheblichen Einfluss auf Kristallitorientierung, Gitterkonstante und Größe der Schichtspannung hat. Zusätzlich wurden mittels des Langford-Verfahrens Korngröße und Mikrospannungen bestimmt. Im Rahmen der röntgenografischen Spannungsmessung zeigten sich nichtlineare Verläufe der Dehnung über sin²Ψ, die mit dem Kornwechselwirkungsmodell nach Vook und Witt erklärt werden. Indium-Zinn-Oxid Röntgenreflektometrie reaktives Magnetron-Sputtern ddc:530 Eigenspannung Gitterkonstante Röntgenbeugung
2	Röntgenografische Charakterisierung von Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten Kaune, Gunar 26 September 2005 (has links) Mittels reaktivem Magnetron-Sputtern hergestellte Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten wurden mit den Methoden der Röntgendiffraktometrie und Röntgenreflektometrie charakterisiert. Es konnte gezeigt werden, dass die Wahl des Arbeitspunktes bei der Schichtabscheidung erheblichen Einfluss auf Kristallitorientierung, Gitterkonstante und Größe der Schichtspannung hat. Zusätzlich wurden mittels des Langford-Verfahrens Korngröße und Mikrospannungen bestimmt. Im Rahmen der röntgenografischen Spannungsmessung zeigten sich nichtlineare Verläufe der Dehnung über sin²Ψ, die mit dem Kornwechselwirkungsmodell nach Vook und Witt erklärt werden. info:eu-repo/classification/ddc/530 ddc:530 Eigenspannung Gitterkonstante Röntgenbeugung Indium-Zinn-Oxid Röntgenreflektometrie reaktives Magnetron-Sputtern
3	Ionenstrahlunterstütztes Wachstum von Zinn-dotierten Indiumoxid-Filmen / Ion beam assisted growth of tin-doped indium oxide films Thiele, Karola 26 March 2004 (has links) No description available. Mathematics and Computer Science Indium Zinn Oxid ITO dünne Schichten ionenstrahlunterstützte Deposition IBAD Mikrostruktur Wachstumsmechanismen elektrische Leitfähigkeit YBCO 530 Physik indium tin oxide ITO thin films ion beam assisted deposition IBAD microstructure growth mechanisms electrical conductivity YBCO 33.61 33.68 33.79 33.72 RVS 700: Mikrostruktur Gefüge- {Physik}

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