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Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /

Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico. / Made available in DSpace on 2012-10-16T23:51:14Z (GMT). No. of bitstreams: 0Bitstream added on 2016-01-08T22:37:08Z : No. of bitstreams: 1
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Identiferoai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.ufsc.br:123456789/76999
Date January 1997
CreatorsFontana, Luis Cesar
ContributorsUniversidade Federal de Santa Catarina, Muzart, Joel Louis Rene
PublisherFlorianópolis, SC
Source SetsIBICT Brazilian ETDs
LanguagePortuguese
Detected LanguagePortuguese
Typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
Formatxiii, 121f.| il., grafs.
Sourcereponame:Repositório Institucional da UFSC, instname:Universidade Federal de Santa Catarina, instacron:UFSC
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess

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