Return to search

Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /

Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico. / Made available in DSpace on 2012-10-16T23:51:14Z (GMT). No. of bitstreams: 0Bitstream added on 2016-01-08T22:37:08Z : No. of bitstreams: 1
139008.pdf: 30562492 bytes, checksum: 070788b8cb7be749acc7243e005bcfc0 (MD5)

Identiferoai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.ufsc.br:123456789/76999
Date January 1997
CreatorsFontana, Luis Cesar
ContributorsUniversidade Federal de Santa Catarina, Muzart, Joel Louis Rene
PublisherFlorianópolis, SC
Source SetsIBICT Brazilian ETDs
LanguagePortuguese
Detected LanguagePortuguese
Typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
Formatxiii, 121f.| il., grafs.
Sourcereponame:Repositório Institucional da UFSC, instname:Universidade Federal de Santa Catarina, instacron:UFSC
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess

Page generated in 0.0016 seconds