Le but de ce travail est d’étudier l’effet de la vapeur d’eau contenue dans le plasma sur
la composition et la vitesse de dépôt des couches minces d’oxynitrures de chrome déposées
par pulvérisation cathodique magnétron réactive avec l’air contenant différentes teneurs en
vapeur d’eau (humidité relative). Les techniques d’analyses par faisceau d’ions énergétiques :
RBS et réactions nucléaires nous ont permis de déterminer les concentrations relatives des
éléments déposés. Les profils d’hydrogène et d’azote ont été déterminés par RNRA et Tof-
SIMS. La liaison chimique a été identifiée par LEEIXS et XPS. Les mesures XPS ont dévoilé
la présence d’une phase autre que Cr, CrN, Cr2O3 et CrO2 ; cette nouvelle phase possède une
stoechiométrie (CrO2)3-N. La teneur en Cr et ses composés varie en fonction du flux et de
l’humidité relative de l’air. En mode métallique de la pulvérisation cathodique, la
stoechiométrie Cr2O3 est majoritaire en coexistence avec de faibles teneurs et CrN, CrO2 et (CrO2)3-N alors qu’en mode composé, c’est la stoechiométrie CrO2 qui prédomine./
The aim of this work is to study the stoichiometry of chromium oxynitride thin films
deposited by reactive magnetron sputtering in presence of air with various relative humidities.
Ion Beam Analysis methods: RBS (Rutherford Backscattering Spectroscopy) and resonant
nuclear reaction (RNRA) were used to determine the thickness and the composition of the
films. Hydrogen and nitrogen profiles were obtained by RNRA and Tof-SIMS. The chemical
bonds were investigated by XPS and LEEIXS. The chromium metallic and chromium
compounds concentrations were measured versus the flow and relative humidity of the air.
During sputtering in metallic mode, Cr2O3 stoichiometry is observed with low contents of
CrN, CrO2 and (CrO2)3-N whereas in compound mode the CrO2 stoichiometry predominates.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:BICfB/oai:fundp.ac.be:ETDFUNDP:FUNDPetd-02232005-200950 |
| Date | 26 September 2003 |
| Creators | Agouram, Saïd |
| Contributors | Prof. Lucas Stephan, Prof. Bertrand Patrick, Prof. Terwagne Guy, Prof. Sporken Robert, Prof. Bodart Franz |
| Publisher | FUNDP |
| Source Sets | Bibliothèque interuniversitaire de la Communauté française de Belgique |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | text |
| Format | application/pdf |
| Source | http://edoc.bib.ucl.ac.be:61/ETD-db/collection/available/FUNDPetd-02232005-200950/ |
| Rights | unrestricted, J'accepte que le texte de la thèse (ci-après l'oeuvre), sous réserve des parties couvertes par la confidentialité, soit publié dans le recueil électronique des thèses FUNDP. A cette fin, je donne licence à FUNDP : - le droit de fixer et de reproduire l'oeuvre sur support électronique : logiciel ETD/db - le droit de communiquer l'oeuvre au public Cette licence, gratuite et non exclusive, est valable pour toute la durée de la propriété littéraire et artistique, y compris ses éventuelles prolongations, et pour le monde entier. Je conserve tous les autres droits pour la reproduction et la communication de la thèse, ainsi que le droit de l'utiliser dans de futurs travaux. Je certifie avoir obtenu, conformément à la législation sur le droit d'auteur et aux exigences du droit à l'image, toutes les autorisations nécessaires à la reproduction dans ma thèse d'images, de textes, et/ou de toute oeuvre protégés par le droit d'auteur, et avoir obtenu les autorisations nécessaires à leur communication à des tiers. Au cas où un tiers est titulaire d'un droit de propriété intellectuelle sur tout ou partie de ma thèse, je certifie avoir obtenu son autorisation écrite pour l'exercice des droits mentionnés ci-dessus. |
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