Return to search

Titano okisdų formavimas vandens garų plazmoje / Formation of titanium oxides using water vapour plasma

Šio darbo literatūros apžvalgoje aptariami plazmos tipai, plazmos charakteristikos bei sąveika su medžiaga. Aptariama plazminės implantacijos technologija. Trumpai apibūdinama vandens garų plazma ir jos panaudojimas. Apžvelgiama titano oksido struktūra bei jo panaudojimas katalizatorių gamybai, kurie gali būti skirti skaldyti vandens molekules ir gaminti vandenilį. Darbe paaiškinamas magnetroninis nusodinimas bei jo privalumai. Darbo metu buvo oksiduojamas titanas vandens garų plazmoje. Titano oksidacija priklauso nuo daugybės plazmoje vykstančių procesų (adsorbcija, sulaikymas, vakansijų susidarymas ir pan.). Titano oksido panaudojimas yra labai platus dabartiniu metu. Aptariama šio eksperimento technologija bei atliekama oksiduotų titano dangų analizė. SEM, XRD, AES, GDOES analizės metodais buvo tiriama titano dangos oksidacija ir aiškinamas oksidacijos mechanizmas. / Types of plasma, characteristics and plasma interaction with solids are discussed in the literature review of this paper. Also, the plasma immersion ion implantation are described. Water vapour plasma are briefly discussed. Titanium oxide structure and it‘s usage for catalyst which could split water molecules are reviewed. Magnetron deposition are explained in this paper. The titanium film was oxidized by water vapour plasma on experiment. The oxidation of titanium depends on many processes in plasma (adsorption, trapping, formation of oxygen vacancies and etc.). Appliance of titanium oxide is very large in recent times. Experimental technology are discussed and plasma treated films are analysed. Titanium oxidation was analysed by SEM, XRD, AES, GDOES. Oxidation mechanism was explained in this paper.

Identiferoai:union.ndltd.org:LABT_ETD/oai:elaba.lt:LT-eLABa-0001:E.02~2012~D_20120202_132623-41801
Date02 February 2012
CreatorsUrbonavičius, Marius
ContributorsPranevičius, Liudas, Gedvilas, Karolis, Urbonas, Rolandas, Girdauskas, Valdas, Vytautas Magnus University
PublisherLithuanian Academic Libraries Network (LABT), Vytautas Magnus University
Source SetsLithuanian ETD submission system
LanguageLithuanian
Detected LanguageUnknown
TypeMaster thesis
Formatapplication/pdf
Sourcehttp://vddb.laba.lt/obj/LT-eLABa-0001:E.02~2012~D_20120202_132623-41801
RightsUnrestricted

Page generated in 0.0024 seconds