Darbe atlikta literatūros analizė šių procesų: (i) vykstančių vandens garų plazmoje; (ii) titano dangų oksidacija vandens garų plazmoje ir (iii) titano dioksido fotokatalitinės ir hidrofilinės savybės. TiO2 dangos buvo gautos po titano dangų ekspozicijos H2O garų plazmoje. Tyrimai parodė, kad TiO2 danga vandens garų plazmos aplinkoje formuoja elektrocheminį elementą. Darbe tirtos plazma aktyvuotos vandens skaldymo reakcijos. Parodyta, kad susidarę protonai pernešami per kietą TiO2 elektrolitą, o elektronai migruoja per plazmoje susiformavusią išorinę grandinę. Proceso metu dangos paviršinis sluoksnis formuojasi į TiO2–SiO2 kompozitą. Nors procesai vyksta žemoje temperatūroje, gauti rezultatai parodė masės pernešimo reiškinius, būdingus aukštoms temperatūroms. Pateikti nagrinėtų procesų mechanizmai. Darbo metu bandinių eksperimentinė analizė atlikta elektroninės dispersinės spektroskopijos (EDS), rentgeno spindulių difrakcijos (RSD), Auger elektroninės spektroskopijos (AES), skenuojančio elektroninio mikroskopo (SEM), optinės mikroskopijos ir kontaktinio profilometro metodais. / Processes in water vapor plasma, titania film oxidation in water vapor plasma and titanium dioxide photocatalytic and hydrophilic properties are discussed in this paper. Titatium dioxide thin films were obtained after titanium thin film exposure in water vapor plasma. Specimen together with H2O plasma forms electrochemical cell. In plasma film surface is activated and photocatalytic water splitting reactions occurs. Generated hydrogen ions are transported through solid titanium electrolyte and electrons are conducted to an external circuit via plasma. Titanium dioxide films surfaces are converted into composited composed of TiO2 and SiO2. Although oxidation process occurs in room temperature results showed mass transfer processes which occurs in high temperature. Specimens were analysed by electron dispersion spectroscopy (EDS), (X-ray diffraction (XRD), Auger electron spectroscopy (AES), glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES), scanning electron microscopy (SEM), optical microscopy and nanoprofilometer methods.

Šio darbo literatūros apžvalgoje aptariami plazmos tipai, plazmos charakteristikos bei sąveika su medžiaga. Aptariama plazminės implantacijos technologija. Trumpai apibūdinama vandens garų plazma ir jos panaudojimas. Apžvelgiama titano oksido struktūra bei jo panaudojimas katalizatorių gamybai, kurie gali būti skirti skaldyti vandens molekules ir gaminti vandenilį. Darbe paaiškinamas magnetroninis nusodinimas bei jo privalumai. Darbo metu buvo oksiduojamas titanas vandens garų plazmoje. Titano oksidacija priklauso nuo daugybės plazmoje vykstančių procesų (adsorbcija, sulaikymas, vakansijų susidarymas ir pan.). Titano oksido panaudojimas yra labai platus dabartiniu metu. Aptariama šio eksperimento technologija bei atliekama oksiduotų titano dangų analizė. SEM, XRD, AES, GDOES analizės metodais buvo tiriama titano dangos oksidacija ir aiškinamas oksidacijos mechanizmas. / Types of plasma, characteristics and plasma interaction with solids are discussed in the literature review of this paper. Also, the plasma immersion ion implantation are described. Water vapour plasma are briefly discussed. Titanium oxide structure and it‘s usage for catalyst which could split water molecules are reviewed. Magnetron deposition are explained in this paper. The titanium film was oxidized by water vapour plasma on experiment. The oxidation of titanium depends on many processes in plasma (adsorption, trapping, formation of oxygen vacancies and etc.). Appliance of titanium oxide is very large in recent times. Experimental technology are discussed and plasma treated films are analysed. Titanium oxidation was analysed by SEM, XRD, AES, GDOES. Oxidation mechanism was explained in this paper.