Obtenção e caracterização de filmes de silicio policristalino para aplicação em tecnologia MOS porta de silicio

Description

Orientador: Wilmar Bueno de Moraes / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas / Made available in DSpace on 2018-07-14T09:59:49Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1984 / Resumo: O objetivo deste trabalho é investigar a obtenção de filmes de silício policristalino, depositados no reator epitaxial projetado e construído no nosso laboratório, a partir da redução de tetracloreto de silício por hidrogênio, e caracterizar estes filmes visando aplicá-los em uma tecnologia MOS porta de silício. Para tanto, ajustamos alguns parâmetros geométricos do reator epitaxial, verificamos a dependência da deposição e morfologia dos filmes com os parâmetros CVD (temperatura do substrato, fluxo total de gases e concentração de SiCl4). Dopamos os filmes por difusão térmica convencional, determinamos: taxa e resolução de ataque químico, resistência de folha, resistência de contato da interface silício policristalino/alumínio, largura efetiva da linha de silício policristalino, cargas no óxido de porta, etc. E ainda, foi definido um roteiro de instruções básicas para a construção de um transistor canal N com porta de silício. / Abstract: Not informed. / Mestrado / Mestre em Engenharia Elétrica

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1. FERREIRA, Elnatan Chagas. Obtenção e caracterização de filmes de silicio policristalino para aplicação em tecnologia MOS porta de silicio. 1984. 1v. (paginação irregular). Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/260019>. Acesso em: 14 jul. 2018.
2. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/260019

Tags

Semicondutores de oxido metalico

Silício - Tecnologia

Materiais

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/260019
Date	13 December 1984
Creators	Ferreira, Elnatan Chagas, 1955-
Contributors	UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Moraes, Wilmar Bueno de, 1939-
Publisher	[s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia de Campinas, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
Source Sets	IBICT Brazilian ETDs
Language	Portuguese
Detected Language	Portuguese
Type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Format	1v. (paginação irregular)., application/pdf
Source	reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess