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Surface modification and mechanical reliability enhancement of free-standing single crystal silicon microstructures using localized KrF excimer laser annealing / 単結晶シリコン自立マイクロ構造のKrFエキシマレーザ局所アニールによる表面改質および機械的信頼性向上

京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第19184号 / 工博第4061号 / 新制||工||1626(附属図書館) / 32176 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 琵琶 志朗, 准教授 土屋 智由, 教授 松原 厚 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

Identiferoai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/200447
Date25 May 2015
CreatorsMitwally, Mohamed Elwi
Contributors田畑, 修, 琵琶, 志朗, 土屋, 智由, 松原, 厚, モハメド, エルウィ ミトゥワリ
Publisher京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source SetsKyoto University
LanguageEnglish
Detected LanguageEnglish
Typedoctoral thesis, Thesis or Dissertation
Formatapplication/pdf
Rights許諾条件により本文は2016-04-01に公開

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