Surface modification and mechanical reliability enhancement of free-standing single crystal silicon microstructures using localized KrF excimer laser annealing / 単結晶シリコン自立マイクロ構造のKrFエキシマレーザ局所アニールによる表面改質および機械的信頼性向上

Description

京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第19184号 / 工博第4061号 / 新制||工||1626(附属図書館) / 32176 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 琵琶 志朗, 准教授 土屋 智由, 教授 松原 厚 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

Links & Downloads

1. http://hdl.handle.net/2433/200447
2. 14301甲第19184号
3. 10.14989/doctor.k19184
4. 14301

Tags

Laser annealing

Single crystal silicon

Surface roughness

Tensile strength

Fatigue life

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/200447
Date	25 May 2015
Creators	Mitwally, Mohamed Elwi
Contributors	田畑, 修, 琵琶, 志朗, 土屋, 智由, 松原, 厚, モハメド, エルウィ ミトゥワリ
Publisher	京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	English
Detected Language	English
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf
Rights	許諾条件により本文は2016-04-01に公開