Das Afterglow tritt am Übergang vom Plasma zur Gasphase auf.
Die dominierende aktive Spezies im Afterglow sind metastabil angeregte
Neutralteilchen. Der Abbau der Metastabilen erfolgt in drei verschiedenen
Prozessen: dem radiativen Zerfall, den Quenching-Stößen sowie
der Relaxation in Stößen mit Oberflächen. Potentielle
Anwendungsmöglichkeiten des Afterglows für Schichtabscheidung
und Oberflächenmodifizierung werden diskutiert. Zur theoretischen
Beschreibung des strömenden Afterglows wurde ein Collisional
Radiative Modell entwickelt, welches die Reflexion angeregter Spezies an
Oberflächen berücksichtigt. Als Diagnostikmethoden wurden die
optische Emissionsspektroskopie (OES), die Chemolumineszenz sowie die
Langmuir-Sondenmessungen eingesetzt, um die Konzentration metastabil
angeregter Spezies zu bestimmen. Es wurde der Einfluß von
konstruktiven und äußeren Paramentern auf die Konzentration
metastabil angeregter Spezies im Afterglow untersucht. Es zeigt sich,
daß unter den gegebenen Bedingungen die Quenching-Stöße
der dominierende Verlustprozeß im Afterglow sind. Die Parameter
Druck, Strömungsgeschwindigkeit und Länge des Afterglows
können zu einem Skalierungsparameter zusammengefaßt werden,
der zur online-Prozeßregulierung verwendet werden kann. Es werden
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:17380 |
| Date | 12 December 1997 |
| Creators | Beier, Matthias |
| Contributors | Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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