Im ESF geförderten Projekt E-PISA sind verschiedene, hoch innovative, von der globalen Forschungslandschaft ausgezeichnete und gleichzeitig industrierelevante technische Entwicklungen im Bereich der Mikrosystemtechnik, Medizintechnik und Industrie 4.0 vorangetrieben worden.
Fokus der technischen Entwicklung waren zum einen Grundlagenforschung und zum anderen Applikationen von Mikrosystemen auf Basis piezoelektrischer Dünnschichten mit Aluminiumnitrid und Elektronik mit Carbon-Nano-Tubes.:Liebe LeserInnen, 5
E-PISA Team 6
Innovative Applikationen 11
Innovative Technologien 13
Regionaler Bezug 15
Wissenstransfer in Zahlen 17
Piezoelektrisches Dünnschicht-Aluminiumnitrid für Mikrosysteme 19
Mikro-opto-elektro-mechanische Systeme 23
Acoustic Emission Sensoren 29
Drucksensoren für medizinische Katheter 33
Kristallwachstum 37
Innovationssysteme, Märkte und Forschungsnetzwerke 45
Zuverlässigkeit piezoelektrischer Schichtsysteme der Mikrotechnologie 51
Veröffentlichungen und Auszeichnungen 53
Zukunftsfähigkeit 61
Danksagung 63
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:73266 |
| Date | 29 December 2020 |
| Creators | Böttger, Simon, Bucher, Julien, Kriebel, David, Meinel, Katja, Solonenko, Dmytro, Stiebing, Martin, Stöckel, Chris |
| Publisher | Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | info:eu-repo/semantics/submittedVersion, doc-type:workingPaper, info:eu-repo/semantics/workingPaper, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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