Étude fondamentale des mécanismes de gravure par plasma de matériaux de pointe : application à la fabrication de dispositifs photoniques

Description

Thèse numérisée par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.

Links & Downloads

1. http://hdl.handle.net/1866/17365

Tags

Gravure par plasma

Pulvérisation

Dynamique d'adsorption et de désorption

Plasma de haute densité

Diagnostics des plasmas

Matériaux de pointe

Applications photoniques

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:umontreal.ca/oai:papyrus.bib.umontreal.ca:1866/17365
Date	January 2005
Creators	Stafford, Luc
Contributors	Margot, Joëlle, Chaker, Mohamed
Source Sets	Université de Montréal
Language	French
Detected Language	French
Type	Thèse ou Mémoire numérique / Electronic Thesis or Dissertation