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Drawing Functional Micropatterns on Flexible Polymer Substrates via VUV-lithography / VUVリソグラフィによる可撓性高分子基板上への機能性微細パターンの構築

京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第22776号 / 工博第4775号 / 新制||工||1747(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 杉村 博之, 教授 邑瀬 邦明, 教授 宇田 哲也 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

Identiferoai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/259044
Date23 September 2020
CreatorsWu, Cheng-Tse
Contributors杉村, 博之, 邑瀬, 邦明, 宇田, 哲也, 呉, 承澤, ゴ, ショウタク
PublisherKyoto University, 京都大学
Source SetsKyoto University
LanguageEnglish
Detected LanguageEnglish
Typedoctoral thesis, Thesis or Dissertation
Formatapplication/pdf
Rights許諾条件により本文は2021-09-22に公開

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