Ziel dieser Arbeit war es, die in der Professur Oberflächen- und Grenzflächenphysik
hergestellten Schichtsysteme strukturell zu charakterisieren. Mit Hilfe der
Röntgendiffraktometrie (XRD) ist es möglich, die Phasen und die Orientierung der
aufgewachsenen Schicht zu bestimmen. Mit einem weiteren Verfahren, der
Röntgenreflektometrie (XRR), lassen sich Aussagen über die Schichtqualität treffen. Durch
die Kombination dieser Methoden erhält man detaillierte Auskünfte über die Proben.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa.de:swb:ch1-200500358 |
| Date | 18 April 2005 |
| Creators | Mildner, Marcus |
| Contributors | TU Chemnitz, Fakultät für Naturwissenschaften, Prof. Dr. rer. nat. habil. Walter Hoyer, Prof. Dr. rer. nat. habil. Hans-Jürgen Hinneberg |
| Publisher | Universitätsbibliothek Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | deu |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:masterThesis |
| Format | application/pdf, text/plain, application/zip |
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