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Mechanical Reliability Enhancement of Single Crystal Silicon Microstructures by Means of Diamond-Like Carbon Film Coating / ダイヤモンドライクカーボン膜の全面被覆による単結晶シリコン微細構造の機械的信頼性向上

京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第21462号 / 工博第4537号 / 新制||工||1707(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 鈴木 基史, 准教授 土屋 智由, 教授 平方 寛之 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

Identiferoai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/236623
Date23 January 2019
CreatorsZhang, Wenlei
Contributors田畑, 修, 鈴木, 基史, 土屋, 智由, 平方, 寛之, 張, 文磊, チャン, ウェンレイ
PublisherKyoto University, 京都大学
Source SetsKyoto University
LanguageEnglish
Detected LanguageEnglish
Typedoctoral thesis, Thesis or Dissertation
Formatapplication/pdf

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