アルカリ金属ソースタブレットと犠牲マイクロ流路気密封止技術を用いた原子磁気センサ用アルカリ金属蒸気セルの作製手法に関する研究

Description

京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第18270号 / 工博第3862号 / 新制||工||1592(附属図書館) / 31128 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 蓮尾 昌裕, 教授 中部 主敬 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

Links & Downloads

1. http://hdl.handle.net/2433/188583
2. 14301甲第18270号
3. 10.14989/doctor.k18270
4. 14301

Tags

微細加工技術

原子磁気センサ

アルカリ金属蒸気セル

ガラスフリット接合

気密性評価

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/188583
Date	24 March 2014
Creators	辻本, 和也
Contributors	田畑, 修, 蓮尾, 昌裕, 中部, 主敬, Tsujimoto, Kazuya, ツジモト, カズヤ
Publisher	京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf