単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度と疲労に関する実験力学的研究

Description

京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第19993号 / 工博第4237号 / 新制||工||1655(附属図書館) / 33089 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 北條 正樹, 准教授 土屋 智由, 教授 琵琶 志朗 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/217168
2. 14301甲第19993号
3. 10.14989/doctor.k19993
4. 14301

Tags

単結晶シリコン

引張試験

脆性延性遷移

並列試験

MEMS

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/217168
Date	23 September 2016
Creators	上杉, 晃生
Contributors	田畑, 修, 北條, 正樹, 土屋, 智由, 琵琶, 志朗, Uesugi, Akio, ウエスギ, アキオ
Publisher	京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	Japanese
Detected Language	Japanese
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf