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[en] SEMICONDUCTOR NANOSTRUCTURE FABRICATION IN MECHANICAL DEFECTS PRODUCED BY ATOMIC FORCE MICROSCOPY / [pt] FABRICAÇÃO DE NANOESTRUTURAS SEMICONDUTORAS EM DEFEITOS PRODUZIDOS POR MICROSCOPIA DE FORÇA ATÔMICAHENRIQUE DUARTE DA FONSECA FILHO 23 January 2009 (has links)
[pt] A combinação de alta densidade, locais seletivos de
nucleação e controle da distribuição de tamanho de
nanoestruturas semicondutoras tem acelerado o
desenvolvimento de dispositivos ópticos e eletrônicos. Para
construir estruturas satisfazendo essas necessidades,
várias combinações de técnicas deposição de
pontos quânticos e nanolitografia foram desenvolvidas. A
nanolitografia por AFM foi aplicada em diversos materiais
abrindo uma possibilidade para fabricar
dispositivos opto-eletrônicos.Nesta tese de Doutorado,
apresentamos um estudo sistemático de crescimento de
nanoestruturas de InAs em buracos produzidos na
superfície (100) de substratos de InP por nanoindentação
com o AFM. Para isto, a ponta precisa exercer uma força no
InP que produz deformações plásticas na
superfície. A pressão aplicada entre a extremidade da ponta
de AFM e a superfície da amostra pode ser variada de modo
controlado através do ajuste de alguns parâmetros
operacionais do microscópio tais como setpoint, raio da
ponta e constante de mola do cantilever. A habilidade para
controlar a forma do padrão indentado assim como a natureza
dos defeitos cristalinos permite controlar o
crescimento seletivo de InAs por epitaxia em fase de vapor
de metais orgânicos. Também é apresentada a fabricação de
nanoestruturas de InAs/InP alinhadas em uma dimensão. A
nanoindentação é produzida pelo arraste da ponta do AFM sob
força constante ao longo das direções <100> e <110> do InP.
Observamos que o número e o tamanho das nanoestruturas
nucleadas são dependentes da distância entre as linhas
litografadas. Esses resultados sugerem que o mecanismo de
crescimento das nanoestruturas de InAs não é governado por
degraus atômicos gerados durante a indentação. Os dados
sugerem que, a densidade de defeitos induzidos
mecanicamente, tais como discordâncias e fraturas, é o
responsável pelo número de nanoestruturas nucleadas. / [en] The combination of high density, site selective nucleation,
and size
distribution control of semiconductor nanostructures has
become a challenge in the
development of effective optical and electronic devices. In
order to build structures
satisfying these requirements, various combinations of
quantum dot deposition and
nanolithography techniques have been developed. The AFM
nanolithography
technique has been applied on several materials opening a
possibility to fabricate
opto-electronic devices. In this Phd Thesis, we present a
systematic study of
growth of InAs nanostructures on pits produced on (100) InP
by nanoindentation
with the AFM. For that purpose, the AFM tip needs to exert
a force on the InP that
produces plastic deformation on the surface. The applied
pressure between the very
end of the AFM tip and the sample surface may be varied in
a controlled way by
adjusting some of the microscope operational parameters
like set point, tip radius
and cantilever normal bending constant. The ability to
control the shape of the
indentation pattern as well as the nature of the
crystalline defects allows control of
the selective growth of InAs by metal organic vapor phase
epitaxy. We also report
the fabrication of one-dimensional arrays of InAs/InP
nanostructures. The
nanoindentation is produced by dragging the AFM tip under
constant force of the
substrate, along the <100> and <110> InP crystallographic
directions. We have
observed that the number and the size of nucleated
nanostructures are dependent on
the distance between the lithographed lines. These results
suggest that the growth
mechanism of the InAs nanostructures on the pits produced
by AFM on InP is not
governed by the number of atomic steps generated during the
scratching. Instead,
the data suggests that, the density of mechanically induced
defects, like dislocations
and cracks, are responsible for the number of nucleated
nanostructures.
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[pt] A NATUREZA DA DEFORMAÇÃO PLÁSTICA EM SEMICONDUTORES III-V RESULTANTE DA NANOLITOGRAFIA POR MICROSCOPIA DE FORÇA ATÔMICA / [en] THE NATURE OF PLASTIC DEFORMATION OF III-V SEMICONDUCTORS RESULTING FROM ATOMIC FORCE MICROSCOPY NANOLITHOGRAPHYPAULA GALVAO CALDAS 28 December 2011 (has links)
[pt] Neste trabalho foi estudada a deformação mecânica em
semicondutores III-V resultante da nanolitografia por microscopia de força
atômica (AFM). O AFM, equipado com uma ponta de diamante de raio de
curvatura de 80 nm, foi usado para riscar a superfície do InP com forças
da ordem de dezenas de mN ao longo de direções cristalográficas
específicas. O padrão litografado na superfície foi caracterizado com o
uso do AFM, enquanto uma análise da microestrutura do material foi feita
com o uso da microscopia eletrônica de transmissão (MET). Foi realizado
um estudo da deformação mecânica ao riscarmos o InP (100) com o uso
do AFM utilizando forças normais variando de 7 uN a 120 uN e em
direções cristalográficas das famílias <110> e <100>. Foi visto por MET,
que é mais fácil produzir deformação plástica para riscos feitos na direção
<110> do que na direção <100>, o que associamos à diferença na
orientação dos vetores de Burgers ativados para os planos de
escorregamento do InP para riscos ao longo das diferentes direções. Foi
realizado também um estudo da influência da distância entre dois riscos
consecutivos, feitos com o uso do AFM com força normal de 30 uN, no
endurecimento por deformação plástica. Um significante endurecimento
foi observado para distâncias entre riscos menores que 80 nm indicando
que ocorre travamento entre discordâncias geradas por sucessivos riscos
a distâncias menores que 80 nm. / [en] In this work, the mechanical deformation of III-V semiconductors
resulting from atomic force microscopy (AFM) nanolithography was
studied. The AFM, equipped with a diamond tip with 80nm radius, was
used to scratch the InP surface with forces in the order of tens of mN
along specific crystallographic directions. The pattern lithographed at the
surface was characterized by AFM, while the material microstructure
analyzes was performed by transmission electron microscopy (TEM). We
studied the mechanical deformation of InP (100) produced by the AFM
with forces in the range of 7uN to 120 uN along directions from the <110>
and <100> families. It was observed by TEM that, it is easier to produce
plastic deformation for scratches along the <110> than along the <100>
directions, which was associated to the different orientations of the
Burgers vectors activated for the InP slip planes for the scratches along
the different directions. The influence of the distance between two
scratches, performed with a normal force of 30 uN on the materials
hardening process was performed as well. Significant hardening was
observed at distances between scratches of 80nm or less suggesting that
locking due to dislocation interaction is occurring at parallel scratches at
distances smaller than 80nm.
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[pt] ESTUDO DO EFEITO DE MAGNETORESISTÊNCIA EM SEMICONDUTORES ORGÂNICOS UTILIZANDO A TÉCNICA DE MODULAÇÃO DO CAMPO MAGNÉTICO / [en] INVESTIGATION ON THE MAGNETORESISTANCE EFFECT IN ORGANIC SEMICONDUCTORS USING THE MAGNETIC FIELD MODULATION TECHNIQUERAFAEL MENDES BARBOSA DOS SANTOS 19 March 2012 (has links)
[pt] Neste trabalho foi implementado um sistema capaz de realizar medições do
efeito de magnetoresistência em dispositivos baseados em semicondutores
orgânicos. Este efeito foi recentemente descoberto em dispositivos construídos
utilizando filmes finos de materiais orgânicos não magnéticos de baixo peso
molecular e poliméricos. O sistema implementado é capaz de medir pequenas
variações na corrente do dispositivo (da ordem de nanoampère), à temperatura
ambiente, utilizando a técnica de modulação do campo magnético. Nesta técnica
dois campos magnéticos, um contínuo e um alternado, são aplicados na região
onde se encontra o dispositivo. A variação da corrente sofrida pelo dispositivo
devida à aplicação do campo contínuo é medida utilizando um amplificador Lockin
que está em fase com a frequência de oscilação do campo magnético alternado.
Após a implementação do sistema, no trabalho foi investigada a influência de
alguns parâmetros do mesmo sobre a medição da magnetoresistência nos
dispositivos orgânicos produzidos. Foi realizado também um estudo preliminar da
magnetoresistência em função de diferentes compostos orgânicos. Este estudo foi
divido em duas etapas: na primeira, o composto Alq3 foi utilizado como camada
transportadora de elétrons e camada emissora e foram utilizados diferentes
materiais orgânicos como camada transportadora de buracos. Na segunda etapa o
polímero PEDOT foi utilizado como camada transportadora de buracos e foram
utilizados dois complexos orgânicos de terras-raras como camadas emissoras e
transportadoras de elétrons. Por fim, o sistema permitiu realizar um estudo
preliminar do efeito da degradação sobre o valor da magnetoresistência nos
dispositivos orgânicos. / [en] In this work a system capable to measure the magnetoresistance (MR) effect
on organic based devices was mounted and characterized. The MR effect was
recently discovered on devices performed by using thin films of non-magnetic
organic materials (a number of polymers and small molecules). The mounted
system is able to measure small variations in the device current (up to nanoampere),
at room temperature, using the magnetic field modulation technique
(MFMT). In the MFMT two different magnetic fields, one DC and another AC,
are applied on the region where the device is placed. The current variation of the
device, due to the DC magnetic field applied, is detected by a Lock-in amplifier in
phase with the AC magnetic field. In addition to the installation of the system, this
work allows to study the behaviour of MR effect from the performed devices, as a
function of some parameters of the system. Moreover, a preliminary investigation
of the MR effect as a function of different organic compounds was also carried
out. This study was divided in two parts: in the first, the organic material Alq3 was
used as electron transporting and emission layer and four different organic
materials were used as hole transporting layer in the devices. In the second part,
the PEDOT polymer was used as hole transporting layer whereas two different
rare-earth compounds were used as electron transporting and emission layer to
produce the devices. Finally, an investigation of the MR dependence as a function
of the degradation of the produced devices was achieved.
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[en] CARBON DOPING IN INAIAS EPITAXIAL LAYERS / [pt] DOPAGEM CARBONO EM CAMADAS EPITAXIAIS DE INALASMARIO LUIS PIRES GONCALVES RIBEIRO 24 May 2002 (has links)
[pt] É reconhecido o potencial de usar carbono como um dopante
tipo p em InAlAs devido a obtenção de elevados níveis de
dopagem [1,2]. Entretanto, níveis elevados de
dopagem só são alcançados em baixas temperaturas de
crescimento (Tg inferiores a 600°C). Nessas temperaturas,
as camadas crescidas apresentam qualidade ótica inferior
quando comparadas com camadas crescidas em temperaturas
mais altas, o que é prejudicial para dispositivos de
optoeletrônica. Neste trabalho, é apresentada uma
investigação sistemática das propriedades de transporte e
óticas em camadas de InAlAs dopadas com carbono para
diferentes temperaturas de crescimento. É observado que
quanto mais baixa for a Tg maior será a incorporação de
carbono e maior a atividade elétrica. Este resultado indica
que o carbono é incorporado de diversas maneiras, bem como
um aceitador raso. O carbono também pode ser incorporado
como um doador raso, pois é um dopante anfotérico.
Entretanto, este fato, não é suficiente para explicar os
resultados de transporte. A diferença entre a
concentração Hall e a concentração CV indica a incorporação
de doadores profundos. Provavelmente, o carbono participa
na formação desses doadores profundos, uma vez que a
concentração de doador profundo varia linearmente com a
densidade atômica de carbono, determinada pela técnica SIMS.
Por outro lado, centros não radiativos são mais facilmente
incorporados em baixas Tg e a eficiência da
fotoluminescência é reduzida. Essa degradação da
fotoluminescência é independente da concentração de
carbono, consequentemente, pode-se concluir que essa
redução na eficiência da fotoluminescência não está
associada à presença de doadores profundos. Com a
finalidade de obter um incremento na atividade elétrica do
carbono e melhoria na qualidade ótica das camadas, as
amostras foram submetidas a tratamentos térmicos. Os
tratamentos térmicos aumentaram a concentração de buracos
mas não influenciaram na densidade de doadores profundos ou
na qualidade ótica das camadas. Para a utilização de InAlAs
dopado com carbono em dispositivos, deve-se obter
simultaneamente uma boa qualidade ótica e elevada atividade
elétrica das camadas.Então, deve-se identificar o doador
profundo, que está associado ao carbono, com o objetivo de
reduzí-lo ou eliminá-lo e consequentemente, obter um
incremento na atividade elétrica das camadas. Desta forma
as camadas podem ser crescidas a temperaturas mais altas
adequadas para uma emissão de fotoluminescência eficiente.
Cálculos teóricos são apresentados de modo a ajudar essa
identificação. Outra possibilidade é usar diferentes fontes
de arsina em que as moléculas se dissociem em
temperaturas mais baixas. / [en] The potential of using carbon as a p-type dopant for InAlAs
has already been recognized due to the achievable high hole
concentration [1,2]. However, high doping levels are
reached only for low growth teperatures (Tg below 600°C).
These temperatures produce layers with poor optical quality
as compared to those grown at higher temperatures, which
can be detrimental for optoeletronic device. In this work
we present crystal, transport and optical properties of
such layers grown at different temperatures.
We find that the lower Tg, the more efficient the carbon
incorporation and its electrical activity are. This result
indicates that carbon is incorporated in forms different
from a shallow acceptor, as well. Carbon can also be
incorporated as a shallow donor since it is an amphoteric
dopant. However, this alone does not explain the transport
results. The difference between the net free charge density
determined from capacitance measurements indicates that a
deep donor is also incorporated. Carbon most likely
participates in the deep donor formation since the inferred
deep donor concentration varies linearly with the carbon
atomic density measured by SIMS. On the other hand, non-
radiative deep levels are more efficiently incorporated as
Tg is reduced degrading the photoluminescence
characteristics. Such degration is independent of the
carbon doping. Therefore, one concludes that the decrease
in the photoluminescence efficiency cannot be related to
the presence of the deep donor mentioned in the previous
paragraph. To further probe the carbon electrical activity
and its effect on the optical properties of the layers, the
samples have been subjected to a heat-treatment. Annealing
the samples increases the hole concentration, but neither
affects the deep donor density nor improves the layers
optical quality. In order to use carbon doped InAlAs in
devices which simultaneously require good optical quality
and high electrical activity of the layers, one should
identify the deep donor involving carbon in order to try to
reduce its concentration or even eliminate it, consequently
improving the electrical activity of the layers. In such a
way the layers can be grown at higher temperatures,
adequate for an efficient photoluminescence emission.
Theoretical calculations are being carried out to
help with such identification. Another possibility is to
use other arsine sources which crack at lower temperatures.
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[en] DEVELOPMENT OF FAR-INFRARED PHOTODETECTORS BASED ON INTRABAND TRANSITIONS IN GAAS/ALGAAS MULTI-QUANTUM WELLS / [pt] DESENVOLVIMENTO DE FOTODETECTORES DE INFRAVERMELHO DISTANTE UTILIZANDO TRANSIÇÕES INTRABANDA EM POÇOS QUÂNTICOS MÚLTIPLOS DE GAAS/ALGAASMARCIO SCARPIM DE SOUZA 20 July 2006 (has links)
[pt] Nas Forças Armadas do Brasil existe uma forte demanda pelo
desenvolvimento de detectores de infravermelho nacionais
para uso em diversas
aplicações sujeitas a rígidas restrições de importação,
como sistemas de
imageamento infravermelho para visão noturna, guiamento de
mísseis, sistemas de
mira, etc. O objetivo deste trabalho foi desenvolver
fotodetectores para o
infravermelho distante em 10µm, baseados em estruturas
semicondutoras de poços
quânticos múltiplos de GaAs/AlGaAs utilizando transições
intrabanda. Os
materiais foram crescidos pela técnica de epitaxia de fase
vapor de metalorgânicos
(MOVPE). A calibração dos parâmetros de crescimento foi
realizada por meio de
medidas de difração de raios x, efeito Hall, e
fotoluminescência. Devido à regra de
seleção de que não é possível haver absorção intrabanda da
luz sob incidência
normal, foram aplicadas duas técnicas de acoplamento:
geometria de guia de onda
com incidência a 45º pela borda, e utilização de grades de
difração metalizadas.
Os detectores produzidos foram caracterizados quanto à
corrente de escuro e
quanto aos espectros de absorção óptica e de fotocorrente,
ambos obtidos por
espectroscopia FTIR. Ao final dos trabalhos, foi obtido um
fotodetector de
GaAs/AlGaAs do qual foi possível medir a fotocorrente
através dos contatos
elétricos do dispositivo, com pico em 9µm. Os resultados
obtidos são promissores
no sentido de que apontam para a possibilidade de se
produzir detectores de
infravermelho nacionais para diversas aplicações (defesa,
medicina, astronomia,
telecomunicações, etc). / [en] In the Brazilian Army there is a strong demand for the
development of
national infrared detectors for use in many applications
subjected to severe trade
restrictions, like infrared imaging systems for night
vision, missile guidance, sight
systems, etc. The aim of this work was to develop far-
infrared photodetectors for
10µm, based on semiconductor structures of GaAs/AlGaAs
multi-quantum wells
using intraband transitions. The materials were grown by
metalorganic vapor
phase epitaxy (MOVPE). The calibration of the growing
parameters was done by
x ray diffraction, Hall effect, and photoluminescence
measurements. Since
intraband transition of light is not possible to normal
incidence, due to selection
rules, two coupling techniques were applied: waveguide
geometry with 45o
incidence on the edge, and metalized diffraction gratings.
The produced detectors
were characterized in terms of dark current, optical
absorption and spectral
response. Infrared measurements were made using FTIR
spectroscopy. A
GaAs/AlGaAs photodetector was obtained. The photocurrent
through the
electrical contacts of the device showed a peak at 9µm.
The results are promising
in the sense of revealing the possibility of producing
national infrared
photodetectors for many applications (defense, medicine,
astronomy,
telecommunications, etc).
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