NDLTD Global ETD Search
  • Refine Query
  • Source
  • Publication year
  • to
  • Language
  • 1
  • 1
  • Tagged with
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • 2
  • About
  • The Global ETD Search service is a free service for researchers to find electronic theses and dissertations. This service is provided by the Networked Digital Library of Theses and Dissertations.
    Our metadata is collected from universities around the world. If you manage a university/consortium/country archive and want to be added, details can be found on the NDLTD website.

Search results

Showing 1 to 2 of 2 (0.02 seconds)

Spelling suggestions: "subject:"herzrate"" "subject:"heizrate""

1

Herstellung anwendungsbezogener SiO2-Grabenstrukturen im sub-μm-Bereich durch RIE und ICP-Prozesse.

Schäfer, Toni 15 June 2006 (has links) (PDF)
Herstellung anwendungsbezogener SiO2- Grabenstrukturen im sub-μm-Bereich durch RIE und ICP-Prozesse.
CF4
CHF3
FIB
Plasmapolymer
RIE
RIE grass
Selektivität
bowing
differential charging
facetting
microtrenching
Ätzrate
ddc:620
Anisotropie
Elektromigration
Fluidik
ICP
Lag
Passivierung
Photoresist
Plasmaätzen
Polymere
Rasterelektronenmikroskop
Siliciumdioxid
Trench <Mikroelektronik>
2

Herstellung anwendungsbezogener SiO2-Grabenstrukturen im sub-μm-Bereich durch RIE und ICP-Prozesse.

Schäfer, Toni 15 June 2006 (has links)
Herstellung anwendungsbezogener SiO2- Grabenstrukturen im sub-μm-Bereich durch RIE und ICP-Prozesse.
info:eu-repo/classification/ddc/620
ddc:620
Anisotropie
Elektromigration
Fluidik
ICP
Lag
Passivierung
Photoresist
Plasmaätzen
Polymere
Rasterelektronenmikroskop
Siliciumdioxid
Trench <Mikroelektronik>
CF4
CHF3
FIB
Plasmapolymer
RIE
RIE grass
Selektivität
bowing
differential charging
facetting
microtrenching
Ätzrate

Page generated in 0.0237 seconds