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1	Grundlagenuntersuchungen zum elektrisch induzierten Phasenwechsel und Entwicklung lateraler Phasenwechselspeicherbauelemente / Merget, Florian. January 2008 (has links) Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2008.
2	Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie Letzkus, Florian, January 2003 (has links) Stuttgart, Univ., Diss., 2003.
3	Herstellung anwendungsbezogener SiO2-Grabenstrukturen im sub-μm-Bereich durch RIE und ICP-Prozesse. Schäfer, Toni 15 June 2006 (has links) (PDF) Herstellung anwendungsbezogener SiO2- Grabenstrukturen im sub-μm-Bereich durch RIE und ICP-Prozesse. CF4 CHF3 FIB Plasmapolymer RIE RIE grass Selektivität bowing differential charging facetting microtrenching Ätzrate ddc:620 Anisotropie Elektromigration Fluidik ICP Lag Passivierung Photoresist Plasmaätzen Polymere Rasterelektronenmikroskop Siliciumdioxid Trench <Mikroelektronik>
4	Herstellung anwendungsbezogener SiO2-Grabenstrukturen im sub-μm-Bereich durch RIE und ICP-Prozesse. Schäfer, Toni 15 June 2006 (has links) Herstellung anwendungsbezogener SiO2- Grabenstrukturen im sub-μm-Bereich durch RIE und ICP-Prozesse. info:eu-repo/classification/ddc/620 ddc:620 Anisotropie Elektromigration Fluidik ICP Lag Passivierung Photoresist Plasmaätzen Polymere Rasterelektronenmikroskop Siliciumdioxid Trench <Mikroelektronik> CF4 CHF3 FIB Plasmapolymer RIE RIE grass Selektivität bowing differential charging facetting microtrenching Ätzrate

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