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Search results

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1

銅電解精製における現場操業改善に関する研究

下川, 公博 23 May 2013 (has links)
京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第17791号 / 工博第3770号 / 新制||工||1576(附属図書館) / 30598 / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 杉村 博之, 教授 邑瀬 邦明, 准教授 宇田 哲也 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
銅電解精製
ニカワ
ラミネーション
塩化物イオン
双晶
500
2

Si-ULSIデバイス用Cu配線の低抵抗化と信頼性向上

小濱, 和之 26 March 2012 (has links)
Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第16798号 / 工博第3519号 / 新制||工||1532(附属図書館) / 29473 / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 白井 泰治, 教授 酒井 明, 教授 杉村 博之 / 学位規則第4条第1項該当
Cu(Ti)
合金
自己形成
拡散バリア
薄膜
粒成長
双晶
500

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