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Si-ULSIデバイス用Cu配線の低抵抗化と信頼性向上小濱, 和之 26 March 2012 (has links)
Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第16798号 / 工博第3519号 / 新制||工||1532(附属図書館) / 29473 / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 白井 泰治, 教授 酒井 明, 教授 杉村 博之 / 学位規則第4条第1項該当
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