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Search results

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1

選択横方向成長を用いた低転位厚膜アルファ酸化ガリウムの成長に関する研究

河原, 克明 23 March 2021 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第23209号 / 工博第4853号 / 新制||工||1758(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 / (主査)教授 藤田 静雄, 教授 川上 養一, 教授 木本 恒暢 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DGAM
α-Ga2O3
選択横方向成長
二重選択横方向成長
貫通転位
エッチング
500

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