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結晶異方性エッチング解析システムMICROCADの開発(<小特集>マイクロマシン関連技術)

佐藤, 一雄, 浅海, 和雄, 小林, 元, 入江, 康郎, 式田, 光宏 20 March 1999 (has links)
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Chemical Etching of Semiconductors Assisted by Graphene Oxide / 酸化グラフェンを触媒として用いた新規半導体加工法の開発

Kubota, Wataru 23 March 2023 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第24582号 / 工博第5088号 / 新制||工||1974(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 杉村 博之, 教授 邑瀬 邦明, 教授 宇田 哲也 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
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電子温度制御プラズマによるラジカルの単色化に関する研究

後藤, 俊夫, 堀, 勝, 伊藤, 昌文 03 1900 (has links)
科学研究費補助金 研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:11305004 研究代表者:後藤 俊夫 研究期間:1999-2001年度
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選択横方向成長を用いた低転位厚膜アルファ酸化ガリウムの成長に関する研究

河原, 克明 23 March 2021 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第23209号 / 工博第4853号 / 新制||工||1758(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 / (主査)教授 藤田 静雄, 教授 川上 養一, 教授 木本 恒暢 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DGAM

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