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Chemical Etching of Semiconductors Assisted by Graphene Oxide / 酸化グラフェンを触媒として用いた新規半導体加工法の開発Kubota, Wataru 23 March 2023 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第24582号 / 工博第5088号 / 新制||工||1974(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 杉村 博之, 教授 邑瀬 邦明, 教授 宇田 哲也 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
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