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Chemical Etching of Semiconductors Assisted by Graphene Oxide / 酸化グラフェンを触媒として用いた新規半導体加工法の開発Kubota, Wataru 23 March 2023 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第24582号 / 工博第5088号 / 新制||工||1974(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 杉村 博之, 教授 邑瀬 邦明, 教授 宇田 哲也 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
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面外共振振動を用いた多結晶シリコン薄膜メンブレンの疲労試験種村, 友貴 23 May 2013 (has links)
京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第17789号 / 工博第3768号 / 新制||工||1576(附属図書館) / 30596 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 琵琶 志朗, 准教授 土屋 智由, 教授 北村 隆行 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
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薄膜シリコン太陽電池の光吸収増大に向けたフォトニック結晶構造の設計に関する研究川本, 洋輔 23 March 2016 (has links)
京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第19719号 / 工博第4174号 / 新制||工||1644(附属図書館) / 32755 / 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 / (主査)教授 野田 進, 教授 川上 養一, 教授 藤田 静雄 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DGAM
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アニール技術を用いた高性能シリコン薄膜トランジスタに関する研究 / アニール ギジュツ オ モチイタ コウセイノウ シリコン ハクマク トランジスタ 二カンスル ケンキュウ野口 隆, Takashi Noguchi 28 February 1992 (has links)
ポリSi薄膜トランジスタ(TFT)の高性能化について、理論的、技術的な観点から種々の問題点を導き、特にトラップ密度や粒径の大小がTFTの電気的特性に与える影響を詳細に解析し、イオン注入やその後のアニール技術などによって充分に実証を行ったものである。特にエキシマレーザアニール(ELA)を用いた、全工程が下地に影響を与えない低温プロセスは、LSIの微細化とガラス上素子特性の向上に資するものとして有益な知見と考えられる。 / 博士(工学) / Doctor of Philosophy in Engineering / 同志社大学 / Doshisha University
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単結晶シリコンへき開面ナノギャップにおける熱輸送の間隔依存性計測霜降, 真希 25 March 2024 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第25280号 / 工博第5239号 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 土屋 智由, 教授 蓮尾 昌裕, 教授 平方 寛之 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
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シリコンに直接結合した自己集積化単分子膜の形成とその応用 / シリコン ニ チョクセツ ケツゴウシタ ジコ シュウセキカ タンブンシマク ノ ケイセイ ト ソノ オウヨウ佐野, 光 23 March 2009 (has links)
Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第14573号 / 工博第3041号 / 新制||工||1453(附属図書館) / 26925 / UT51-2009-D285 / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 杉村 博之, 教授 酒井 明, 教授 佐藤 直樹 / 学位規則第4条第1項該当
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単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度と疲労に関する実験力学的研究上杉, 晃生 23 September 2016 (has links)
京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第19993号 / 工博第4237号 / 新制||工||1655(附属図書館) / 33089 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 北條 正樹, 准教授 土屋 智由, 教授 琵琶 志朗 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
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電子注入ストレスを加えたゲート酸化膜の電流検出型原子間力顕微鏡による解析世古, 明義, 渡辺, 行彦, 近藤, 博基, 酒井, 朗, 財満, 鎭明, 安田, 幸夫 01 August 2004 (has links)
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UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発後藤, 俊夫, 河野, 明廣, 堀, 勝, 伊藤, 昌文, 寒川, 誠二, 塚田, 勉 03 1900 (has links)
科学研究費補助金 研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:09355002 研究代表者:後藤 俊夫 研究期間:1997-1999年度
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イオンビーム照射中に生じる点欠陥の自己緩和に関する研究南川, 英輝 26 September 2022 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第24229号 / 工博第5057号 / 新制||工||1789(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻 / (主査)教授 斉藤 学, 准教授 土田 秀次, 教授 木野村 淳 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
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