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Spelling suggestions: "subject:"カンレン"" "subject:"メンシン""

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面外共振振動を用いた多結晶シリコン薄膜メンブレンの疲労試験

種村, 友貴 23 May 2013 (has links)
京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第17789号 / 工博第3768号 / 新制||工||1576(附属図書館) / 30596 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 琵琶 志朗, 准教授 土屋 智由, 教授 北村 隆行 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
多結晶シリコン
疲労試験
面外振動
共振
メンブレン
500

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