Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第16795号 / 工博第3516号 / 新制||工||1532(附属図書館) / 29470 / 京都大学大学院工学研究科機械理工学専攻 / (主査)教授 蓮尾 昌裕, 教授 木村 健二, 教授 斧 髙一 / 学位規則第4条第1項該当

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第16319号 / 工博第3447号 / 新制||工||1521(附属図書館) / 28936 / 京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻 / (主査)教授 福山 淳, 教授 功刀 資彰, 准教授 村上 定義 / 学位規則第4条第1項該当

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第17160号 / 工博第3650号 / 新制||工||1554(附属図書館) / 29899 / 京都大学大学院工学研究科電気工学専攻 / (主査）教授 山川 宏, 教授 北野 正雄, 教授 篠原 真毅 / 学位規則第4条第1項該当

科学研究費補助金 研究種目:一般研究(A) 課題番号:01420044 研究代表者:高村 秀一 研究期間:1989-1991年度

周囲プラズマベースの周囲脱離/イオン化ソースにより、従来の大気圧イオン化では不可能な周囲条件下でのサンプルの直接分析が可能になります。これにより、面倒な準備と、多くの有害で複雑なサンプルの分析用質量分析計への導入が解消されます。既存のプラズマベースのアンビエント脱離/イオン化ソースは、通常、2つの電極間にキロヘルツから数メガヘルツの範囲の周波数で直流（DC）または交流（AC）電圧を印加することによって形成されます。この研究では、新しいプラズマベースの周囲脱離/イオン化は、13.56 MHz RFソースから供給される非常に低い電力密度で動作する誘導結合によって生成されたワイヤ安定化大気圧プラズマで構成されています。ワイヤ安定化大気圧プラズマの点火特性、安定性およびプラズマ特性を研究した。 / Ambient plasma-based ambient desorption/ionization source enables direct analysis of samples under ambient conditions that traditional atmospheric pressure ionization is incapable. It overcomes the tedious preprocessing and often detrimental and complicated sample introduction to the mass spectrometer for analysis. Existing plasma-based ambient desorption/ionization sources feature an electrical discharge typically formed between two electrodes by applying either a direct-current (DC) voltage or an alternating-current (AC) voltage with frequencies ranging from kilohertz to several megahertz. In this study, a novel plasma-based ambient desorption/ionization consists of a wire stabilized atmospheric pressure plasma produced by inductive coupling operated at very low power density supplied by a 13.56 MHz RF source. The ignition characteristics, stability and plasma properties of the wire stabilized atmospheric pressure plasma were studied. / 博士(工学) / Doctor of Philosophy in Engineering / 同志社大学 / Doshisha University

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第16801号 / 工博第3522号 / 新制||工||1533(附属図書館) / 29476 / 京都大学大学院工学研究科電子工学専攻 / (主査)教授 髙岡 義寛, 教授 北野 正雄, 教授 川上 養一 / 学位規則第4条第1項該当

プラズマ診断は，プラズマプロセス中の荷電粒子の役割を理解する上で重要である．しかしながら，一般的なプラズマ診断は低圧の場合に限られているため，大気圧プラズマの特性を把握するためには新たな診断技術の開発が必要である．本論文では，ゲルディエンコンデンサーを用いた大気圧プラズマ診断を提案し，実用上十分な性能を有すことを実証した内容について報告している．さらに測定に影響を及ぼす要因についても調査した. / Plasma diagnostics plays an important part in understanding the role of charged particles during plasma processes. However, since common plasma diagnostic techniques are limited to low-pressure case, there is a need for the development of a new diagnostic method specifically for atmospheric pressure plasma characterization. In this dissertation, a diagnostic technique based on the Gerdien condenser theory is developed for laboratory-produced atmospheric pressure plasma. The Gerdien condenser, which is a classical instrument employed in atmospheric science, is capable in measuring the ion mobility and density from an obtained current-voltage characteristic. The factors that can affect the measurements are also investigated. / 博士(工学) / Doctor of Philosophy in Engineering / 同志社大学 / Doshisha University

An electron cyclotron resonance (ECR) plasma source which couples microwave to the plasma using an internal antenna was developed. The use of internal antenna provides a "windowless" power coupling method that can eliminate the issues of contamination which require frequent source maintenance. Antenna structure, magnetic configuration and plasma parameters were modified for carbon film deposition by chemical sputtering. The ECR source generated low-plasma-potential (10 V), high-plasma-density (10^16 m^-3) discharges at low gas pressures (10^-1 Pa) and low input power (100 W). The antenna realized stable operation for more than 5 h and can be utilized for carbon film deposition. / 博士(工学) / Doctor of Philosophy in Engineering / 同志社大学 / Doshisha University

科学研究費補助金 研究種目:一般研究(B)→基盤研究(B) 課題番号:07458091 研究代表者:庄司 多津男 研究期間:1995-1996年度

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第13817号 / 工博第2921号 / 新制||工||1432(附属図書館) / 26033 / UT51-2008-C733 / 京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻 / (主査)教授 福山 淳, 教授 山本 克治, 教授 岸本 泰明 / 学位規則第4条第1項該当