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A Study on Physical Property Changes in Dielectric and Semiconductor Materials Induced by Ion Irradiation During Plasma Processing / プラズマプロセス中のイオン照射により誘起される絶縁体および半導体材料の物性変化に関する研究

Hamano, Takashi 23 March 2023 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第24612号 / 工博第5118号 / 新制||工||1979(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻 / (主査)教授 江利口 浩二, 教授 嶋田 隆広, 教授 鈴木 基史 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DGAM

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