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Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /Fontana, Luis Cesar January 1997 (has links)
Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico. / Made available in DSpace on 2012-10-16T23:51:14Z (GMT). No. of bitstreams: 0Bitstream added on 2016-01-08T22:37:08Z : No. of bitstreams: 1
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